Femtosecond laser-based fabrication technologies have seen rapid developments in the past decades, thanks to the capability of femtosecond lasers to induce localized multiphoton absorption in materials. Multiphoton absorption can result in various material modifications that can be leveraged for additive and subtractive manufacturing. Their versatile applications have demonstrated the great potential of femtosecond lasers in advancing micro- and nano-fabrication. These include (1) multiphoton crosslinking enabling 3D printing with unprecedented patterning freedom and sub-micrometer resolution,(2) the formation of self-organized structures enabling the creation of multi-functional sub-wavelength patterns in solid materials, and (3) multiphoton ablation enabling precise sculpturing of wide-ranging materials. Nevertheless, there remains a large room to explore when it comes to available materials and achievable devices. This thesis aims to advance the applications of femtosecond lasers to glasses and 2D materials for the fabrication of advanced and integrated microdevices for photonics and energy storage. The first part of this thesis presents two approaches for 3D printing of inorganic glass. These approaches are based on two unusual observations in hydrogen silsesquioxane (HSQ) upon femtosecond laser exposure: (1) multiphoton crosslinking and (2) the formation of self-organized structures. The first work reports an approach for 3D printing of solid silica glass with sub-micrometer resolution by multiphoton crosslinking of HSQ. In contrast to the alternative methods, our approach does not require any thermal treatments, which offers desirable design fidelity and integration flexibility. The second work reports the possibility of inducing material modifications (1) and (2) in HSQ simultaneously. This possibility enables additive manufacturing of self-organized nanogratings, and thus, 3D printing of hierarchical structures made of Si-rich glass. In the third work, a protocol to perform the 3D printing on optical fiber tips is developed, which enables the fabrication of fiber-tip optical microdevices for sensing and beam shaping. The second part of this thesis presents the application of femtosecond lasers to fabricating on-paper microsupercapacitors (MSCs).MSCs are promising energy-storage microdevices for self-powering electronics, and paper substrates, yet vulnerable, are attractive for their sustainability and flexibility. The material and shape of MSCelectrodes play a crucial role in the energy-storage performance, and 2D materials have emerged as suitable candidate materials. In the last two works, a scalable approach for the precise micromachining of 2D-material electrodes by multiphoton ablation is developed, preserving their electrochemical performance and the integrity of the paper substrates.

Femtosekundlaser-baserade tillverkningsteknologier har genomgått snabb utveckling de senaste årtiondena tack vare femtosekundlasrars förmåga att inducera lokal multifotonabsorption i material. Multifotonabsorption kan resultera i olika typer av materialförändringar som kan utnyttjas för additiv och subtraktiv tillverkning. De mångsidiga tillämpningarna visar på potentialen av femtosekundslasrar för mikro- och nanotillverkning. Dessa inkluderar (1) multifotonkorslänkning för 3D-utskrift med mönsterfrihet och submikrometerupplösning, (2) bildandet av självorganiserade strukturer för multifunktionella subvåglängdsmönster i fasta material och (3) multifotonablation för precisionsformning av flertalet material. Trots detta finns det utrymme för att utforska möjliga material och realiserbara produkter. Denna avhandling syftar till att utöka användningsområdet för femtosekundlasrar till tillverkning av avancerade komponenter utav såväl glas som 2D material, för användning inom fotonik och energilagring. Den första delen av denna avhandling presenterar två tillvägagångssätt för 3D-utskrift av oorganiskt glas. Dessa baseras på materialmodifieringar i vätesilseskvioxan (HSQ) vid exponering för femtosekundslaserstrålning: (1) multifoton-korslänkning och (2) bildandet av självorganiserade strukturer. Det första arbetet redovisar kring 3D-utskrift av fast kiseldioxidglas med submikrometerupplösning genom multifoton-korslänkning av HSQ. Vår metod kräver ingen termisk behandling, vilket ger leder till god överensstämmelse mellan ritning och produkt och ger flexibilitet kring integration. Det andra arbetet redogör för möjligheten att inducera materialmodifieringarna (1) och (2) i HSQ samtidigt, vilket möjliggör additiv tillverkning av självorganiserade nanogitter och 3D-utskrift av hierarkiska strukturer av kiselrikt glas. Det tredje arbetet är en utveckling av ett protokoll för 3D-utskrift på ändarna av optiska fiberkablar för tillverkning av optiska mikroenheter som sensorer och strålformare. Den andra delen av denna avhandling presenterar användningen av femtosekundslasrar för tillverkning av mikrosuperkondensatorer (MSCs) på papper. MSCs har fått stor uppmärksamhet som lovande energilagringsmikroenheter för självdriven elektronik. Papperssubstrat är även attraktiva för sin hållbarhet och flexibilitet. 2D-material har relevanta elektrokemiska egenskaper för MSC-elektroder och elektrodernas form påverkar deras prestanda. I de två sista arbetena utvecklas en metod för mikromaskintillverkning av elektroder utav 2D-material genom multifotonablation, vilket bevarar deras elektrokemiska prestanda och de fysiska egenskaperna av papperssubstraten.

The booming evolution of portable, wearable electronic devices, wireless sensors, and integrated microelectronics has stimulated the need for miniaturized power supply modules. Energy harvesters, which harness the environmental energy for electricity use, and micro super capacitors (MSCs),known for the small form factor and rapid power delivery, provide energy efficient solutions. Meanwhile, the demand for sustainable development hasdriven the research towards environmental and ecological-friendly energy solutions. In light of this, utilizing paper as a substrate offers a promising avenue due to its sustainability, lightweight nature, disposability, and availability. Integrating energy harvesters and micro super capacitors into on paper micro-power sources holds the potential for ready-to-use smartelectronics, such as biosensors for detection and diagnostics.

Nonetheless, the progress of on-paper MSCs is still in its infancy encountering challenges in appropriate material selection, structure, and fabrication design. 2D material MXene and conducting polymer PEDOT:PSS hold promises for on-paper MSCs thanks to their hydrophilic nature and excellent electrochemical properties. In terms of energy harvesting units,hydrovoltaic technologies that generate electricity from water movement offer a sustainable energy solution, while triboelectric nanogenerators (TENGs) harness the ubiquitous mechanical energy in the environment to produce electrical power. Such electric energy can be directly utilized or stored with the assistance of MSCs for later consumption. However, integrating energy harvesting and storage components on paper involves complex material and fabrication requirements. This thesis aims at enhancing the rate capability (thecharge and discharge ability at high rates while maintaining the storage capacity) of on-paper MSCs, advancing the development of hydrovoltaic and TENGs energy harvesters and eventually integrating TENGs and MSCs to a non-paper power supply.

The first part (Paper I and Paper II) of this thesis presents the improvements in the rate performance (the ability to maintain the efficiency and capacityunder different rates) of the on-paper MSCs. Introducing conducting polymerpoly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate (PEDOT:PSS) to othermaterials is a typical approach to improve the conductivity of coatings/patternson paper. However, due to the cancel-out effect caused by opposite carrier typesof PEDOT:PSS and Ti3C2Tx, the blend of both showcases a lowered electrical conductivity, thus degrading rate performance. In the first study, a heterogeneous structure design was proposed to tackle this issue. The high efficiency and through put of direct ink writing, along with the minimal damageon the paper substrate of fem to second laser scribing technologies, enable effective MSC fabrication on paper, resulting in stacked-structure MSCs that exhibit excellent areal capacitance of 5.7 mF/cm2 at a high scan rate of 1000mV/s without metallic current collectors. In the second study, the rateperformance was further improved by mixing another type of MXene, Ti2CTx,with PEDOT:PSS which share the same carrier type, avoiding the complex structure and facilitating the printing process. The composite exhibits increased conductivity and an areal capacitance of 30.2 mF/cm2, over fivefold higher than the PEDOT/ Ti3C2Tx heterogeneous structure. The composite ink also enables the efficient fabrication of MSC arrays on paper, which can be charged and discharged at an ultrahigh scan rate of 10 V/s and can work at an extended stable voltage window of 6 V, indicating the excellent scalability of thePEDOT:PSS-Ti2C composite-based electrode.

The second part (Paper III and Paper IV) of this thesis focuses on the development of energy harvesters. Current monolayer graphene-based hydrovoltaic energy harvesters face challenges in fabrication complexity and low output power. To eliminate these limitations, a hydrovoltaic energyharvester based on the composite films of electrochemically exfoliated graphene and TiO2 nanoparticles was developed through a simple doctor blading method. The device delivers a peak voltage of 75 mV and a maximized output power of 1.8 μW at low waving velocities. Besides, tribo electric nanogenerators (TENGs) which convert mechanical movements to electric energy can produce higher instantaneous voltage and can be developed on paper with printing techniques. Thus, the on-paper spacer-free TENGs withgood working stability and improved compactness were fabricated. Moreover, by employing PEDOT:PSS as both electrodes in TENGs and MSCs, TENGs and MSCs can be directly printed on paper, and integrated with a small chip rectifier, achieving the fully printed on-paper micro-power supply. In this preliminary integrated system, the mechanical energy is continuously harvested and converted to electric energy by a TENG, and simultaneously stored in the MSC array, showing the potential to power paper electronics.

In conclusion, this thesis unveils the development of sustainable on-papermicrosupercapacitors with outstanding rate performance and two energyharvesters that convert renewable energy into electricity. In the end, the thesis finalizes with a primary integration of harvesting and storage parts into an on paper power supply.

Den snabba utvecklingen av mindre, bärbara, elektroniska apparater medtrådlösa sensorer, integrerade kretsar och displayer har tvingat fram ett behov av små strömförsörjningsenheter som kan driva denna typ av elektronikprodukter. En möjlighet är att använda miniatyriserade ”energiskördare” som omvandlar mekanisk, termisk eller annan energi som genereras i omgivningen till elektrisk energi. Exempel påsådan energi som finns i vår närmiljö kan vara solljus, vågrörelse, kroppsrörelse och kroppsvärme. Genom att konstruera t ex piezo- eller triboelektriskageneratorer, som tar upp tryck och rörelse och omvandlar detta till elektrisk spänning, kan man generera en ström som skulle kunna räcka till för att driva en liten elektrisk krets. Funktionen av en sådan strömförsörjningsenhet kan också förbättras genom att addera ett batteri som kan lagra den genererade elektriska energin, t ex genom en liten kondensator med lång tidskonstant, en sk mikrosuperkondensator. Denna avhandling visar olika möjligheter att bygga användbara små generatorer och kraftmoduler som uppfyller de tekniska kraven för effektförsörjning av bärbar elektronik. I avhandling strävas också efter att uppfylla hållbarhetsmålen och att minska miljöbelastningen genom att använda ”gratisenergi” i vår omgivning och även utnyttja material och processer som har minimal negativ påverkan på miljön. Den framtagna tekniken baseras på att trycka elektriska komponenter och kretsar på papper, vilket uppfyller kraven på miljövänlighet och hållbarhet. Produkten kan också göras liten, har låg vikt och är böjlig, vilket gör den väl lämpad för bärbara applikationer. Den blir också billig att tillverka och, genom att miljövänliga material används, kan den slängas eller brännas utan miljöpåverkan, till skillnad från mycket av den elektronik som vi använder idag.

Inledningsvis behandlas framtagningen av ett ledande bläck som också har nödvändiga egenskaper för att kunna tryckas på papper. Aktiva substanser ibläcket är 2D-materialet MXene, som har kemiska formeln Mn+1XnTx, där M är övergångsmetall, X är kol och/eller kväve och T representerar terminering, t ex-O, -F, -OH, eller liknande. Bäst resultat uppnåddes med Ti2CTx, som blandades med den ledande polymeren PEDOT:PSS (poly (3,4-etylendioxytiosfen):polystyrensulfonat). Detta bläck användes både för att tillverka mikrosuperkondensatorer (”microsupercapacitors”, MSCs), samt elektroder och elektriska anslutningar på pappret. Kapacitansen per area enet för denna MSC var 30 mF/cm2, vilket är bland de högsta värdena som hittills har presenterats för motsvarande komponenter. Arbetet med MSC och detledande bläcket beskrivs i publikationerna I och II. Senare delen av avhandlingen beskriver olika former av energiskördare, där publikation III beskriver en sk hydrovoltaisk generator som drivs av vågkraft och baseras på kombinationen TiO2 och grafen. Denna typ av generator visade sig fungera utmärkt, men gav relativt lågt uteffekt. Avhandlingens sista publikation beskriver en prototyp av en komplett strömförsörjningsenhet baserad på en triboelektrisk nanogenerator (TENG), tryckt på papper och kopplad till den tidigare beskrivna MSC. Hela systemet inryms på ca 2 cm2 papper och kan försörja en display till ett tidtagarur.