Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Selective epitaxial growth of B-doped SiGe and HCl etch Si for the formation of SiGe: B recessed source and drain (pMOS transistors)
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT.
2008 (engelsk)Inngår i: Thin Solid Films, ISSN 0040-6090, E-ISSN 1879-2731, Vol. 517, nr 1, s. 84-86Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

HCl chemical vapor etching and selective epitaxial growth of B-doped SiGe layers for recessed source/drain application for pMOSFET structure have been presented. The pattern dependency of the etch and epitaxy process were studied and the data correlated to the Si coverage of the chip.

sted, utgiver, år, opplag, sider
2008. Vol. 517, nr 1, s. 84-86
Emneord [en]
Selective epitaxy growth, SiGe, HCI etch, pMOSFEF, chemical-vapor-deposition, pattern sensitivity, silicon, layers
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-18034DOI: 10.1016/j.tsf.2008.08.106ISI: 000261510700024Scopus ID: 2-s2.0-54849412777OAI: oai:DiVA.org:kth-18034DiVA, id: diva2:336079
Merknad
QC 20100525Tilgjengelig fra: 2010-08-05 Laget: 2010-08-05 Sist oppdatert: 2017-12-12bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Andre lenker

Forlagets fulltekstScopus

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Radamson, Henry H.Hållstedt, Julius
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Thin Solid Films

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 70 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf