Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
A study of the oxygen dynamics in a reactive Ar/O high power impulse magnetron sputtering discharge using an ionization region model
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Rymd- och plasmafysik.ORCID-id: 0000-0002-8153-3209
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Rymd- och plasmafysik.
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Rymd- och plasmafysik.
Visa övriga samt affilieringar
2017 (Engelska)Ingår i: Journal of Applied Physics, ISSN 0021-8979, E-ISSN 1089-7550, Vol. 121, nr 17, artikel-id 171917Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The oxygen dynamics in a reactive Ar/O2high power impulse magnetron sputtering discharge hasbeen studied using a new reactive ionization region model. The aim has been to identify thedominating physical and chemical reactions in the plasma and on the surfaces of the reactoraffecting the oxygen plasma chemistry. We explore the temporal evolution of the density of theground state oxygen molecule O2ðX1RgÞ, the singlet metastable oxygen molecules O2ða1DgÞandO2ðb1RgÞ, the oxygen atom in the ground state O(3P), the metastable oxygen atom O(1D), thepositive ions Oþ2and Oþ, and the negative ion O. We furthermore investigate the reaction ratesfor the gain and loss of these species. The density of atomic oxygen increases significantly as wemove from the metal mode to the transition mode, and finally into the compound (poisoned) mode.The main gain rate responsible for the increase is sputtering of atomic oxygen from the oxidizedtarget. Both in the poisoned mode and in the transition mode, sputtering makes up more than 80%of the total gain rate for atomic oxygen. We also investigate the possibility of depositingstoichiometric TiO2in the transition mode.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
American Institute of Physics (AIP), 2017. Vol. 121, nr 17, artikel-id 171917
Nationell ämneskategori
Atom- och molekylfysik och optik
Forskningsämne
Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-204664DOI: 10.1063/1.4977817ISI: 000400623700019Scopus ID: 2-s2.0-85015381231OAI: oai:DiVA.org:kth-204664DiVA, id: diva2:1085965
Forskningsfinansiär
VINNOVA, 2014-04876
Anmärkning

QC 20170410

Tillgänglig från: 2017-03-30 Skapad: 2017-03-30 Senast uppdaterad: 2019-02-06Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Gudmundsson, Jon TomasRaadu, Michael A.

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Gudmundsson, Jon TomasBrenning, NilsRaadu, Michael A.
Av organisationen
Rymd- och plasmafysik
I samma tidskrift
Journal of Applied Physics
Atom- och molekylfysik och optik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 64 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf