Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Mechanically bi-stable in-plane switch with dual-stiffness actuators
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.ORCID-id: 0000-0001-9552-4234
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
2007 (Engelska)Ingår i: TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS: VOLS 1 AND 2, New York: IEEE , 2007, s. U709-U710Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

This paper presents an optimized mechanical multi-spring concept for electrostatic actuators, demonstrated in a lateral curved-electrode configuration for a mechanically interlocking bi-stable switch. The concept features a dual-stiffness mechanism where the actuator is operated in two regimes of different spring constants, which in contrast to conventional actuator mechanisms allows for independently optimizing both the deflection and the force provided during actuation. Further, the non-linear electrostatic force is optimally matched to the linear spring force by the design of the two stiffness regimes. A mechanically bi-stable switch with two separate dual-stiffness cantilevers and a interlocking mechanism has been designed and fabricated in a single photolithographic mask step. The evaluation of the prototype devices has successfully shown the advantages of the dual-stiffness actuator concept.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
New York: IEEE , 2007. s. U709-U710
Nyckelord [en]
MEMS switches, electrostatic actuators, microrelays, mechanical, bi-stability
Nationell ämneskategori
Systemvetenskap, informationssystem och informatik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-13788DOI: 10.1109/SENSOR.2007.4300405ISI: 000249603700348Scopus ID: 2-s2.0-50049102376ISBN: 978-1-4244-0841-2 (tryckt)OAI: oai:DiVA.org:kth-13788DiVA, id: diva2:328091
Konferens
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Lyon, FRANCE, JUN 10-14, 2007
Anmärkning
QC 20100701Tillgänglig från: 2010-07-01 Skapad: 2010-06-29 Senast uppdaterad: 2018-01-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Stemme, Göran

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Sterner, MikaelRoxhed, NiclasStemme, GöranOberhammer, Joachim
Av organisationen
Mikrosystemteknik
Systemvetenskap, informationssystem och informatik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
isbn
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
isbn
urn-nbn
Totalt: 72 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf