Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Enhanced boron diffusion in excimer laser preannealed Si
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP.ORCID-id: 0000-0002-0292-224X
Visa övriga samt affilieringar
2005 (Engelska)Ingår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 86, nr 15Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We have investigated boron diffusion during rapid thermal annealing in Si implanted with boron using an energy of 1 keV and a dose of 1 x 10(16) cm(-2). Two types of samples have been studied: As-implanted and pretreated with excimer laser annealing. For both types an enhanced diffusion of boron has been observed with an enhancement by a factor of 3-5 over the standard diffusion. It is suggested that the high concentration of implanted boron is a dominant factor for the diffusion enhancement as compared to the effect of implantation-induced damage. The data indicate that the proximity of the surface can also affect the boron diffusion enhancement.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2005. Vol. 86, nr 15
Nyckelord [en]
energy implanted boron, dopant diffusion, silicon, redistribution, temperature, injection
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-14727DOI: 10.1063/1.1899765ISI: 000228901600028Scopus ID: 2-s2.0-20844458231OAI: oai:DiVA.org:kth-14727DiVA, id: diva2:332768
Anmärkning
QC 20100525Tillgänglig från: 2010-08-05 Skapad: 2010-08-05 Senast uppdaterad: 2017-12-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Linnarsson, Margareta K.

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Linnarsson, Margareta K.
Av organisationen
Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP
I samma tidskrift
Applied Physics Letters

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 24 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf