Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Selective epitaxial growth of B-doped SiGe and HCl etch Si for the formation of SiGe: B recessed source and drain (pMOS transistors)
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT.
2008 (Engelska)Ingår i: Thin Solid Films, ISSN 0040-6090, E-ISSN 1879-2731, Vol. 517, nr 1, s. 84-86Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

HCl chemical vapor etching and selective epitaxial growth of B-doped SiGe layers for recessed source/drain application for pMOSFET structure have been presented. The pattern dependency of the etch and epitaxy process were studied and the data correlated to the Si coverage of the chip.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2008. Vol. 517, nr 1, s. 84-86
Nyckelord [en]
Selective epitaxy growth, SiGe, HCI etch, pMOSFEF, chemical-vapor-deposition, pattern sensitivity, silicon, layers
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-18034DOI: 10.1016/j.tsf.2008.08.106ISI: 000261510700024Scopus ID: 2-s2.0-54849412777OAI: oai:DiVA.org:kth-18034DiVA, id: diva2:336079
Anmärkning
QC 20100525Tillgänglig från: 2010-08-05 Skapad: 2010-08-05 Senast uppdaterad: 2017-12-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Radamson, Henry H.Hållstedt, Julius
Av organisationen
Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
I samma tidskrift
Thin Solid Films

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 70 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf