Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical characterization of TiC ohmic contacts to aluminum ion implanted 4H-silicon carbide
KTH, Tidigare Institutioner                               , Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT.ORCID-id: 0000-0001-8108-2631
KTH, Tidigare Institutioner                               , Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT.ORCID-id: 0000-0002-5845-3032
Visa övriga samt affilieringar
2000 (Engelska)Ingår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 77, nr 10, s. 1478-1480Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We report on the investigation of epitaxial TiC ohmic contacts to Al ion implanted 4H-SiC. TiC ohmic contacts were formed by coevaporation of Ti and C-60 at low temperature (< 500 degrees C). A sacrificial silicon nitride (Si3N4) layer was deposited on the silicon carbide substrate prior to Al implantation in order to reach a high Al dopant concentration at the surface while maintaining a low dose. The combination of epitaxially grown TiC and the silicon nitride layer resulted in a promising scheme to make low resistivity ohmic contacts. The lowest contact resistivity (rho(C)) and sheet resistance (R-s) of the implanted layer at 25 degrees C were as low as 2 x 10(-5) Ohm cm(2) and 0.6 k Ohm/square, respectively.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2000. Vol. 77, nr 10, s. 1478-1480
Nyckelord [en]
titanium, devices
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-20001ISI: 000089017200023OAI: oai:DiVA.org:kth-20001DiVA, id: diva2:338694
Anmärkning
QC 20100525Tillgänglig från: 2010-08-10 Skapad: 2010-08-10 Senast uppdaterad: 2017-12-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Zetterling, Carl-Mikael

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Zetterling, Carl-MikaelÖstling, Mikael
Av organisationen
Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
I samma tidskrift
Applied Physics Letters

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 51 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf