Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
High-dose Al-implanted 4H-SiC p(+)-n-n(+) junctions
Visa övriga samt affilieringar
2000 (Engelska)Ingår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 77, nr 19, s. 3051-3053Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

p(+)-n-n(+) junctions were fabricated by ion implantation with Al of low-doped epitaxial n layers of 4H-SiC grown by chemical vapor deposition on commercial 4H-SiC wafers both with and without reduction of micropipe densities. It was shown that, using high levels of Al ion doping (5x10(16) cm(-2)) in combination with rapid thermal anneal, single-crystal p(+)-4H-SiC layers can be obtained. These layers do not form barriers at the contact metal-semiconductor interface and do not introduce additional resistance into structures with p(+)-n junctions. This significantly reduces the forward voltage drop across the structure in a wide range of current densities up to 10(4) A cm(-2).

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2000. Vol. 77, nr 19, s. 3051-3053
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-20137ISI: 000165069500037OAI: oai:DiVA.org:kth-20137DiVA, id: diva2:338830
Anmärkning
QC 20100525Tillgänglig från: 2010-08-10 Skapad: 2010-08-10 Senast uppdaterad: 2017-12-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Hallén, Anders.

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hallén, Anders.
Av organisationen
Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
I samma tidskrift
Applied Physics Letters

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 44 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf