kth.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Growth of high frequency SiGe heterojunction bipolar transistors structures
Visa övriga samt affilieringar
2002 (Engelska)Ingår i: Physica Scripta, ISSN 0031-8949, E-ISSN 1402-4896, Vol. T101, s. 45-48Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The growth of heterojuntion bipolar transistor structures using chemical vapor deposition has been investigated. Generation of defects in selectively or nonselectively grown collector layers using arsenic as the dopant has been studied. Minimizing the defect density in SiGe base layers by optimizing the growth rate has also been investigated in detail. High resolution reciprocal lattice mapping, atomic force microscopy and secondary ion mass spectrometry have been used as the main characterization tools.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. T101, s. 45-48
Nyckelord [en]
chemical-vapor-deposition, si1-xgex, epitaxy, layers
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-22075DOI: 10.1238/Physica.Topical.101a00045ISI: 000179465600012OAI: oai:DiVA.org:kth-22075DiVA, id: diva2:340773
Anmärkning
QC 20100525Tillgänglig från: 2010-08-10 Skapad: 2010-08-10 Senast uppdaterad: 2022-06-25Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Landgren, Gunnar.
Av organisationen
Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
I samma tidskrift
Physica Scripta

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 46 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf