Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Growth of delta-doped SiC epitaxial layers
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT).ORCID-id: 0000-0002-0292-224X
2001 (Engelska)Ingår i: SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS, ECSCRM2000, 2001, Vol. 353-356, s. 563-566Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

N- and p-type delta -doped SiC epitaxial layers have been grown by vapour phase epitaxy and characterised by SIMS and CV measurements. Different techniques of achieving delta -doped layers are examined. Doping profiles with FWHM from 1 to 10nm have been obtained at different peak concentrations.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2001. Vol. 353-356, s. 563-566
Serie
Materials Science Forum
Nyckelord [en]
delta-doping; vapor phase epitaxy
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-60805OAI: oai:DiVA.org:kth-60805DiVA, id: diva2:481525
Anmärkning
3rd European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, KLOSTER BANZ, GERMANY, SEP , 2000 NR 20140805Tillgänglig från: 2012-01-21 Skapad: 2012-01-15 Senast uppdaterad: 2012-01-21Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Linnarsson, M K

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Linnarsson, M K
Av organisationen
Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT)
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 25 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf