Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Aluminum doping of epitaxial silicon carbide grown by hot-wall CVD; Effect of process parameters
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT).ORCID-id: 0000-0002-0292-224X
Visa övriga samt affilieringar
2002 (Engelska)Ingår i: SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS, 2002, Vol. 389-3, s. 203-206Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

Intentional p-type doping of SiC has been performed by using trimethylaluminum as dopant source. A comprehensive investigation of the aluminum incorporation dependency on temperature, pressure, C/Si ratio and growth rate in a horizontal hot-wall CVD reactor has been made. The incorporation mechanism for 4H and 6H-SiC both for Si- and C-face material is presented.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. 389-3, s. 203-206
Serie
MATERIALS SCIENCE FORUM
Nyckelord [en]
aluminum; CVD; doping; hot-wall; thermodynamical calculations
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-63021OAI: oai:DiVA.org:kth-63021DiVA, id: diva2:481534
Anmärkning
International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, TSUKUBA, JAPAN, OCT 28-NOV 02, 2001 NR 20140805Tillgänglig från: 2012-01-21 Skapad: 2012-01-21 Senast uppdaterad: 2012-01-21Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Linnarsson, M K

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Linnarsson, M K
Av organisationen
Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT)
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 23 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf