Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Investigation of MOS capacitors and SOI-MOSFETs with epitaxial gadolinium oxide (Gd2O3) and titanium nitride (TiN) electrodes
Visa övriga samt affilieringar
2007 (Engelska)Ingår i: Solid-State Electronics, ISSN 0038-1101, E-ISSN 1879-2405, Vol. 51, nr 4, 617-621 s.Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Electrical properties of metal oxide semiconductor (MOS) capacitors with gate stacks of epitaxial gadolinium oxide (Gd2O3) and titanium nitride (TiN) are studied. The influence of CMOS compatible rapid thermal annealing on these gate stacks is examined. Finally, n- and p-type MOS-field effect transistors (MOSFETs) on silicon on insulator (SOI) material with epitaxial Gd2O3 and TiN gate electrodes are presented.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2007. Vol. 51, nr 4, 617-621 s.
Nyckelord [en]
high-k, rare earth oxide, CMOS, metal gate
Nationell ämneskategori
Nanoteknik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-50534DOI: 10.1016/j.sse.2007.02.008ISI: 000246602800016OAI: oai:DiVA.org:kth-50534DiVA: diva2:495371
Anmärkning
QC 20120217Tillgänglig från: 2012-02-08 Skapad: 2011-12-06 Senast uppdaterad: 2017-12-07Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Lemme, Max C.
I samma tidskrift
Solid-State Electronics
Nanoteknik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 37 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf