Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
High-k-oxide/silicon interfaces characterized by capacitance frequency spectroscopy
Visa övriga samt affilieringar
2008 (Engelska)Ingår i: Solid-State Electronics, ISSN 0038-1101, E-ISSN 1879-2405, Vol. 52, nr 9, s. 1274-1279Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Electron capture into insulator/silicon interface states is investigated for high-k dielectrics of Gd2O3 prepared by molecular beam epitaxy (MBE) and atomic layer deposition (ALD), and for HfO2 prepared by reactive sputtering, by measuring the frequency dependence of Metal Oxide Semiconductor (MOS) capacitance. The capture cross sections are found to be thermally activated and to increase steeply with the energy depth of the interface electron states. The methodology adopted is considered useful for increasing the understanding of high-k-oxide/silicon interfaces.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2008. Vol. 52, nr 9, s. 1274-1279
Nyckelord [en]
MOS, high-k, HfO2, Gd2O3, capacitance frequency spectroscopy, capture cross section
Nationell ämneskategori
Nanoteknik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-50525DOI: 10.1016/j.sse.2008.04.005ISI: 000259688300003OAI: oai:DiVA.org:kth-50525DiVA, id: diva2:495382
Anmärkning
QC 20120209Tillgänglig från: 2012-02-08 Skapad: 2011-12-06 Senast uppdaterad: 2017-12-07Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Lemme, Max C.
I samma tidskrift
Solid-State Electronics
Nanoteknik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 43 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf