kth.se
Publikationer
Vänta ...
Enkel sökning
Avancerad sökning -
Forskningspublikationer
Avancerad sökning -
Studentuppsatser
Statistik
English
Svenska
Norsk
Hoppa till innehåll
Ändra sökning
Sök
Sök
Endast dokument med fulltext i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-80833
Direktlänk
http://kth.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:496783
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Combining components to form integrated device, especially micro mirror spatial light modulator, comprises an adhesive sacrificial bonding technique
Stemme, Göran
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0001-9552-4234
Niklaus, Frank
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0002-0525-8647
2001 (Engelska)
Patent (Övrig (populärvetenskap, debatt, mm))
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2001.
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:kth:diva-80833
OAI: oai:DiVA.org:kth-80833
DiVA, id:
diva2:496783
Patent
SE 523596 (2004-05-04)
Anmärkning
QC 20120210. QC 20130807
Tillgänglig från:
2012-02-10
Skapad:
2012-02-10
Senast uppdaterad:
2022-06-24
Bibliografiskt granskad
Open Access i DiVA
Fulltext saknas i DiVA
Övriga länkar
Espacenet
Person
Stemme, Göran
Niklaus, Frank
Sök vidare i DiVA
Av författaren/redaktören
Stemme, Göran
Niklaus, Frank
Av organisationen
Mikrosystemteknik
I ämnet
Teknik och teknologier
Sök vidare utanför DiVA
Google
Google Scholar
urn-nbn
Altmetricpoäng
urn-nbn
Totalt: 52 träffar
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-80833
Direktlänk
http://kth.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:496783
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.41.0
|
WCAG
|
KTH Bibliotek
|
DiVA support
|
Registrera i DiVA
|
Spikning av avhandling
|
SwePub
DiVA
Logotyp