Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
The effect of stitching errors on the spectral characteristics of DFB lasers fabricated using electron beam lithography
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP. KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT. (Photonics)ORCID-id: 0000-0003-3056-4678
1992 (Engelska)Ingår i: Journal of Lightwave Technology, ISSN 0733-8724, E-ISSN 1558-2213, Vol. 10, s. 1256-1266Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Field stitching errors and their effect on the single-mode characteristics of distributed feedback (DFB) lasers fabricated using electron beam lithography were investigated. The stitching errors are associated with small-area, high-resolution electron beam exposure, which has the potential advantage of high-speed writing of laser gratings. Measurements show that the errors are composed of a systematic and a stochastic part. Their effect on the gain margin was simulated both for lambda;/4 phase-shifted and optimized multiple-phase-shifted DFB lasers. Simulations show that the lasers are insensitive to the systematic part of the stitching errors if the number of errors is large enough. The stochastic part was found to give rise to a variation in gain margin of the DFB lasers. It is concluded that the field stitching accuracy in the high-resolution mode of a commercial system for electron beam lithography is sufficient to provide a high yield of single-mode lasers. However, it is essential that certain precautions be taken considering exposure conditions and that a fault tolerant laser design be used

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1992. Vol. 10, s. 1256-1266
Nyckelord [en]
Bragg grating;DFB lasers;InP-InGaAsP laser;electron beam lithography;fault tolerant laser design;gain margin;high-resolution electron beam exposure;high-speed writing;laser gratings;phase shifted lasers;simulation;single-mode characteristics;spectral characteristics;stitching errors;stochastic errors;systematic errors;III-V semiconductors;diffraction gratings;distributed feedback lasers;electron beam lithography;errors;gallium arsenide;gallium compounds;indium compounds;optical workshop techniques;semiconductor lasers;
Nationell ämneskategori
Telekommunikation Atom- och molekylfysik och optik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-89275DOI: 10.1109/50.156877OAI: oai:DiVA.org:kth-89275DiVA, id: diva2:503035
Anmärkning
NR 20140805Tillgänglig från: 2012-02-14 Skapad: 2012-02-14 Senast uppdaterad: 2017-12-07Bibliografiskt granskad
Ingår i avhandling
1. On the Stability and Dynamics of Semiconductor Lasers
Öppna denna publikation i ny flik eller fönster >>On the Stability and Dynamics of Semiconductor Lasers
1994 (Engelska)Doktorsavhandling, sammanläggning (Övrigt vetenskapligt)
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
KTH Royal Institute of Technology, 1994
Serie
Trita-MVT, ISSN 0348-4467 ; 1994:1
Nationell ämneskategori
Telekommunikation Atom- och molekylfysik och optik
Identifikatorer
urn:nbn:se:kth:diva-89578 (URN)
Disputation
1994-09-15, Kollegiesalen, KTH, Drottning Kristinas Väg, Stockholm, 10:00 (Engelska)
Opponent
Handledare
Anmärkning

QC 20130201

Tillgänglig från: 2013-02-01 Skapad: 2012-02-15 Senast uppdaterad: 2013-02-04Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Schatz, Richard

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Schatz, Richard
Av organisationen
Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAPMikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
I samma tidskrift
Journal of Lightwave Technology
TelekommunikationAtom- och molekylfysik och optik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 106 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf