kth.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Aktiv Vibrations Isolering av en Laserritare inom Mikrolitografi
KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Maskinkonstruktion (Inst.).
2010 (Svenska)Självständigt arbete på avancerad nivå (masterexamen), 20 poäng / 30 hpStudentuppsats (Examensarbete)Alternativ titel
Active Vibration Control of a Laser Pattern Generator in Microlithography (Engelska)
Abstract [en]

Active Vibration Control of a Laser Pattern

Generator in Microlithography

Abstract [sv]

Aktiv Vibrations Isolering av en Laserritare

inom Mikrolitografi

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2010.
Serie
MMK 2010:43 MDA 354
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-99329OAI: oai:DiVA.org:kth-99329DiVA, id: diva2:541940
Externt samarbete
Micronic Laser Systems AB,Carl During
Uppsök
teknik
Handledare
Examinatorer
Tillgänglig från: 2012-07-26 Skapad: 2012-07-26 Senast uppdaterad: 2022-06-24Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Patrik Brattström(1995 kB)363 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 1995 kBChecksumma SHA-512
a50eceafb71507b046f5c5d207dc1d427352ed66e1e19b077163058305ed03c780e4e3588882cc9de4c8711043a4ea9acc338c43f813ec3fd0aefaf4345d637c
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Av organisationen
Maskinkonstruktion (Inst.)
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 363 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 190 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf