kth.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Study of spatial homogeneity and nitridation of an Al nanopattern template with spectroscopic photoemission and low energy electron microscopy
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP.ORCID-id: 0000-0002-6785-8293
Visa övriga samt affilieringar
2013 (Engelska)Ingår i: Applied Surface Science, ISSN 0169-4332, E-ISSN 1873-5584, Vol. 264, s. 349-357Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We report a study on the spatial homogeneity and nitridation of a nanopattern template using a spectroscopic photoemission and low energy electron microscopy. The template was composed of Al nanodots which were patterned into a SiO2/Si(1 1 1) surface using e-beam lithography and reactive ion etching. The template exhibited a global inhomogeneity in terms of the local topography, Al composition and structure of the individual nanopatterns. After nitridation, the individual nanopatterns were diminished, more corrugated and faceted. The nitridated nanopatterns were structurally ordered but differently orientated. The nitridation effectively removed the fluorine contaminants by decomposition of the fluorocarbon sidewalls, resulting in the AlN nanopatterns and partially nitridated Si substrate surface outside the nanopattern domains.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier BV , 2013. Vol. 264, s. 349-357
Nyckelord [en]
AlN, Nanopattern, Spectroscopic photoemission and low-energy electron microscopy, Nitridation
Nationell ämneskategori
Annan fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-110045DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.10.025ISI: 000312004800054Scopus ID: 2-s2.0-84870501720OAI: oai:DiVA.org:kth-110045DiVA, id: diva2:585871
Anmärkning

QC 20130110

Tillgänglig från: 2013-01-10 Skapad: 2013-01-10 Senast uppdaterad: 2024-03-18Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Göthelid, Mats

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Göthelid, Mats
Av organisationen
Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP
I samma tidskrift
Applied Surface Science
Annan fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 61 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf