Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Three-dimensional metrology of embedded microfeatures in ceramics by infrared optical coherence tomography – advantages and limitations
KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Industriell produktion, Mätteknik och optik. (Industrial Metrology and Optics)ORCID-id: 0000-0003-0776-3716
(Laboratory of Biophotonics)
KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Industriell produktion, Mätteknik och optik.
KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Industriell produktion, Mätteknik och optik.ORCID-id: 0000-0002-0105-4102
2015 (Engelska)Ingår i: The Proceedings of the 11th International Conference and Exhibition on Laser Metrology, Coordinate Measuring Machine and Machine Tool Performance, European society for precision engineering & nanotechnology , 2015Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

Advanced printing, structuring, and lamination technologies allow for large-scale and cost-effective manufacturing of multi-layered ceramic micro devices with complex three-dimensional (3D) structures. Infrared (IR) optical coherence tomography (OCT) is a promising technology for rapid, non-contact, high-resolution, and 3D inspection of the microchannels, metal prints, defects, and delaminations embedded in alumina and zirconia ceramic layers at hundreds of micrometres beneath surfaces. In this study the recent progresses of OCT technology for ceramic materials are reviewed, and its advantages and limitations as a metrology tool are evaluated through experiments and Monte Carlo simulations. Several measurement errors of OCT are revealed and the measurement in lateral directions is significantly affected by scattering in the ceramics. Besides of that, two types of image artefacts are found to be present in OCT images due to multiple reflections between neighbouring boundaries and inhomogeneity of refractive index. A wavefront aberration exists in the OCT system with a scanning scheme of two galvo mirrors.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
European society for precision engineering & nanotechnology , 2015.
Nationell ämneskategori
Nanoteknik
Forskningsämne
SRA - Produktion
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-164317Scopus ID: 2-s2.0-84947078815OAI: oai:DiVA.org:kth-164317DiVA, id: diva2:805635
Konferens
the 11th International Conference and Exhibition on Laser Metrology, Coordinate Measuring Machine and Machine Tool Performance, March 17 - 18, 2015
Forskningsfinansiär
XPRES - Initiative for excellence in production research
Anmärkning

QC 20150512

Tillgänglig från: 2015-04-15 Skapad: 2015-04-15 Senast uppdaterad: 2016-03-14Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(858 kB)104 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 858 kBChecksumma SHA-512
7824ee30bfbb9b44e6004de081cf11074dad438200127579626dbd904e77e4bbc307795ebe74f953f9567293e03e12b2e0a28aea9557d81edc21910d39d5fc7f
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

ScopusConference website

Personposter BETA

Su, Rong

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Su, RongEkberg, PeterMattsson, Lars
Av organisationen
Mätteknik och optik
Nanoteknik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 104 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 168 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf