Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Are the argon metastables important in high power impulse magnetron sputtering discharges?
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Rymd- och plasmafysik. University of Iceland, Iceland.ORCID-id: 0000-0002-8153-3209
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Rymd- och plasmafysik. Linköping University, Sweden.
Visa övriga samt affilieringar
2015 (Engelska)Ingår i: Physics of Plasmas, ISSN 1070-664X, E-ISSN 1089-7674, Vol. 22, nr 11, artikel-id 113508Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Resurstyp
Text
Abstract [en]

We use an ionization region model to explore the ionization processes in the high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge in argon with a titanium target. In conventional dc magnetron sputtering (dcMS), stepwise ionization can be an important route for ionization of the argon gas. However, in the HiPIMS discharge stepwise ionization is found to be negligible during the breakdown phase of the HiPIMS pulse and becomes significant (but never dominating) only later in the pulse. For the sputtered species, Penning ionization can be a significant ionization mechanism in the dcMS discharges, while in the HiPIMS discharge Penning ionization is always negligible as compared to electron impact ionization. The main reasons for these differences are a higher plasma density in the HiPIMS discharge, and a higher electron temperature. Furthermore, we explore the ionization fraction and the ionized flux fraction of the sputtered vapor and compare with recent experimental work.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
American Institute of Physics (AIP), 2015. Vol. 22, nr 11, artikel-id 113508
Nationell ämneskategori
Fusion, plasma och rymdfysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-180520DOI: 10.1063/1.4935402ISI: 000366054900078Scopus ID: 2-s2.0-84947297159OAI: oai:DiVA.org:kth-180520DiVA, id: diva2:895097
Anmärkning

QC 20160118

Tillgänglig från: 2016-01-18 Skapad: 2016-01-14 Senast uppdaterad: 2017-11-30Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Gudmundsson, Jon TomasBrenning, Nils
Av organisationen
Rymd- och plasmafysik
I samma tidskrift
Physics of Plasmas
Fusion, plasma och rymdfysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 59 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf