Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Kinetics modeling of the carbon vacancy thermal equilibration in 4H-SiC
Norway.
Italy.
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Elektronik, Integrerade komponenter och kretsar.ORCID-id: 0000-0002-8760-1137
Norway.
2018 (Engelska)Ingår i: International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, ICSCRM 2017, Trans Tech Publications, 2018, s. 233-236Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

The carbon vacancy (VC) is a major limiting-defect of minority carrier lifetime in n-type 4H-SiC epitaxial layers and it is readily formed during high temperature processing. In this study, a kinetics model is put forward to address the thermodynamic equilibration of VC, elucidating the possible atomistic mechanisms that control the VC equilibration under C-rich conditions. Frenkel pair generation, injection of carbon interstitials (Ci’s) from the C-rich surface, followed by recombination with VC’s, and diffusion of VC’s towards the surface appear to be the major mechanisms involved. The modelling results show a close agreement with experimental deep-level transient spectroscopy (DLTS) depth profiles of VC after annealing at different temperatures.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Trans Tech Publications, 2018. s. 233-236
Nyckelord [en]
4H-SiC, Carbon vacancy, Diffusion, Kinetics model, Thermodynamic equilibrium, Carbon, Carrier lifetime, Deep level transient spectroscopy, Kinetics, Atomistic mechanism, High-temperature processing, Kinetics modeling, Minority carrier lifetimes, Thermal equilibrations, Thermodynamic equilibria, Silicon carbide
Nationell ämneskategori
Metallurgi och metalliska material
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-236387DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.924.233Scopus ID: 2-s2.0-85049002040ISBN: 9783035711455 (tryckt)OAI: oai:DiVA.org:kth-236387DiVA, id: diva2:1260237
Konferens
17 September 2017 through 22 September 2017
Anmärkning

QC 20181101

Tillgänglig från: 2018-11-01 Skapad: 2018-11-01 Senast uppdaterad: 2018-11-01Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopusconference

Personposter BETA

Hallén, Anders

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hallén, Anders
Av organisationen
Integrerade komponenter och kretsar
Metallurgi och metalliska material

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
isbn
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
isbn
urn-nbn
Totalt: 377 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf