kth.se
Publikationer
Vänta ...
Enkel sökning
Avancerad sökning -
Forskningspublikationer
Avancerad sökning -
Studentuppsatser
Statistik
English
Svenska
Norsk
Hoppa till innehåll
Ändra sökning
Sök
Sök
Endast dokument med fulltext i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-253894
Direktlänk
http://kth.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1327458
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Adhesive Wafer Bonding for Heterogeneous System Integration
Bleiker, Simon J.
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0002-4867-0391
Dubois, Valentin J.
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0001-6731-3886
Schröder, Stephan
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0002-8853-0967
Ottonello Briano, Floria
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0002-0080-0708
Gylfason, Kristinn B.
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0001-9008-8402
Stemme, Göran
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0001-9552-4234
Niklaus, Frank
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
ORCID-id:
0000-0002-0525-8647
Visa övriga samt affilieringar
2018 (Engelska)
Ingår i:
ECS Meeting Abstracts / [ed] The Electrochemical Society, 2018
Konferensbidrag, Muntlig presentation med publicerat abstract (Refereegranskat)
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2018.
Nyckelord [en]
Adhesive wafer bonding, Wafer bonding, Integration, Hetergeneous integration, MEMS, NEMS, CMOS
Nationell ämneskategori
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:kth:diva-253894
OAI: oai:DiVA.org:kth-253894
DiVA, id:
diva2:1327458
Konferens
Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science (AiMES 2018)
Anmärkning
QC 20190624
Tillgänglig från:
2019-06-19
Skapad:
2019-06-19
Senast uppdaterad:
2024-03-18
Bibliografiskt granskad
Open Access i DiVA
Fulltext saknas i DiVA
Övriga länkar
View online
Person
Bleiker, Simon J.
Dubois, Valentin J.
Schröder, Stephan
Ottonello Briano, Floria
Gylfason, Kristinn B.
Stemme, Göran
Niklaus, Frank
Sök vidare i DiVA
Av författaren/redaktören
Bleiker, Simon J.
Dubois, Valentin J.
Schröder, Stephan
Ottonello Briano, Floria
Gylfason, Kristinn B.
Stemme, Göran
Niklaus, Frank
Av organisationen
Mikro- och nanosystemteknik
I ämnet
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik
Annan elektroteknik och elektronik
Sök vidare utanför DiVA
Google
Google Scholar
urn-nbn
Altmetricpoäng
urn-nbn
Totalt: 241 träffar
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-253894
Direktlänk
http://kth.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1327458
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.41.0
|
WCAG
|
KTH Bibliotek
|
DiVA support
|
Registrera i DiVA
|
Spikning av avhandling
|
SwePub
DiVA
Logotyp