kth.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Adhesive Wafer Bonding for Heterogeneous System Integration
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-4867-0391
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0001-6731-3886
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-8853-0967
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-0080-0708
Visa övriga samt affilieringar
2018 (Engelska)Ingår i: ECS Meeting Abstracts / [ed] The Electrochemical Society, 2018Konferensbidrag, Muntlig presentation med publicerat abstract (Refereegranskat)
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2018.
Nyckelord [en]
Adhesive wafer bonding, Wafer bonding, Integration, Hetergeneous integration, MEMS, NEMS, CMOS
Nationell ämneskategori
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-253894OAI: oai:DiVA.org:kth-253894DiVA, id: diva2:1327458
Konferens
Americas International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science (AiMES 2018)
Anmärkning

QC 20190624

Tillgänglig från: 2019-06-19 Skapad: 2019-06-19 Senast uppdaterad: 2024-03-18Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

View online

Person

Bleiker, Simon J.Dubois, Valentin J.Schröder, StephanOttonello Briano, FloriaGylfason, Kristinn B.Stemme, GöranNiklaus, Frank

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Bleiker, Simon J.Dubois, Valentin J.Schröder, StephanOttonello Briano, FloriaGylfason, Kristinn B.Stemme, GöranNiklaus, Frank
Av organisationen
Mikro- och nanosystemteknik
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknikAnnan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 241 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf