Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Structural, electrical, and optical analysis of ion implanted semi-insulating InP
KTH, Tidigare Institutioner, Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT.
Visa övriga samt affilieringar
2004 (Engelska)Ingår i: Journal of Applied Physics, ISSN 0021-8979, E-ISSN 1089-7550, Vol. 95, nr 2, s. 477-482Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Semi-insulating InP was implanted with MeV P, As, Ga, and In ions, and the resulting evolution of structural properties with increased annealing temperature was analyzed using double crystal x-ray diffractometry and cross sectional transmission electron microscopy. The types of damage identified are correlated with scanning spreading resistance and scanning capacitance measurements, as well as with previously measured Hall effect and time resolved photoluminescence results. We have identified multiple layers of conductivity in the samples which occur due to the nonuniform damage profile of a single implant. Our structural studies have shown that the amount and type of damage caused by implantation does not scale with implant ion atomic mass.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2004. Vol. 95, nr 2, s. 477-482
Nyckelord [en]
spreading resistance microscopy, scanning capacitance microscopy, n-type, gaas, temperatures, layers, fe
Nationell ämneskategori
Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-23059DOI: 10.1063/1.1633349ISI: 000187659600011Scopus ID: 2-s2.0-0742303030OAI: oai:DiVA.org:kth-23059DiVA, id: diva2:341757
Anmärkning
QC 20100525 QC 20111031Tillgänglig från: 2010-08-10 Skapad: 2010-08-10 Senast uppdaterad: 2017-12-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Douhéret, OlivierMaknys, KestutisAnand, Srinivasan
Av organisationen
Mikroelektronik och informationsteknik, IMIT
I samma tidskrift
Journal of Applied Physics
Fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 37 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf