Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Effect of collision cascade density on radiation damage in SiC
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAP.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.ORCID-id: 0000-0002-8760-1137
2009 (Engelska)Ingår i: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, ISSN 0168-583X, E-ISSN 1872-9584, Vol. 267, nr 8-9, s. 1247-1250Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The damage accumulation in 6H-SiC bombarded at room temperature with 1.3 keV/amu atomic P+ ions and small cluster ions PFn+ (n = 2 and 4) have been studied by Rutherford backscattering spectrometry in channeling mode. Results show that collision cascade density strongly affects damage buildup in SiC. The cluster ion bombardment of SiC produces more stable defects both near the surface and in the region between the surface and bulk defect peaks than irradiation by atomic ions.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2009. Vol. 267, nr 8-9, s. 1247-1250
Nyckelord [en]
Ion implantation, Cluster ions, Defects, Collision cascades, SiC
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-30842DOI: 10.1016/j.nimb.2009.01.025ISI: 000266519900010Scopus ID: 2-s2.0-65249109371OAI: oai:DiVA.org:kth-30842DiVA, id: diva2:402527
Anmärkning
QC 20110308Tillgänglig från: 2011-03-08 Skapad: 2011-03-04 Senast uppdaterad: 2017-12-11Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Hallén, Anders

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Azarov, AlexanderHallén, Anders
Av organisationen
Mikroelektronik och tillämpad fysik, MAPIntegrerade komponenter och kretsar
I samma tidskrift
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 308 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf