Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Ohmic contact properties of magnetron sputtered Ti3SiC2 on n- and p-type 4H-silicon carbide
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.ORCID-id: 0000-0001-8108-2631
Visa övriga samt affilieringar
2011 (Engelska)Ingår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 98, nr 4, s. 042108-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Epitaxial Ti3SiC2 (0001) thin film contacts were grown on doped 4H-SiC (0001) using magnetron sputtering in an ultra high vacuum system. The specific contact resistance was investigated using linear transmission line measurements. Rapid thermal annealing at 950 degrees C for 1 min of as-deposited films yielded ohmic contacts to n-type SiC with contact resistances in the order of 10(-4) Omega cm(2). Transmission electron microscopy shows that the interface between Ti3SiC2 and n-type SiC is atomically sharp with evidence of interfacial ordering after annealing. (c) 2011 American Institute of Physics.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2011. Vol. 98, nr 4, s. 042108-
Nyckelord [en]
TITANIUM, GROWTH, LAYERS
Nationell ämneskategori
Elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-32032DOI: 10.1063/1.3549198ISI: 000286676600025Scopus ID: 2-s2.0-79551650146OAI: oai:DiVA.org:kth-32032DiVA, id: diva2:408608
Anmärkning
QC 20110405Tillgänglig från: 2011-04-05 Skapad: 2011-04-04 Senast uppdaterad: 2017-12-11Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Zetterling, Carl-Mikael

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Ghandi, RezaDomeij, MartinZetterling, Carl-MikaelLloyd Spetz, Anita
Av organisationen
Integrerade komponenter och kretsar
I samma tidskrift
Applied Physics Letters
Elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 237 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf