Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Heterogeneous Integration for Optical MEMS
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.ORCID-id: 0000-0003-3452-6361
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-9820-8728
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-7147-6730
Vise andre og tillknytning
2010 (engelsk)Inngår i: 2010 23RD ANNUAL MEETING OF THE IEEE PHOTONICS SOCIETY, NEW YORK: IEEE , 2010, s. 487-488Konferansepaper, Publicerat paper (Fagfellevurdert)
Abstract [en]

In this paper we present different large-scale heterogeneous integration technologies for optical MEMS that enable the integration of optical MEMS with standard CMOS-based ICs. Examples that are presented include various monocrystalline silicon micro-mirror arrays and infrared bolometer arrays.

sted, utgiver, år, opplag, sider
NEW YORK: IEEE , 2010. s. 487-488
Emneord [en]
MEMS, micro-opto-electromechanical system, MOEMS, More-than-Moore, photonics integration, self assembly, wafer-level heterogeneous integration, wafer-scale IC integration
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-32030DOI: 10.1109/PHOTONICS.2010.5698973ISI: 000287997500244Scopus ID: 2-s2.0-79951901323ISBN: 978-1-4244-5369-6 (tryckt)OAI: oai:DiVA.org:kth-32030DiVA, id: diva2:408630
Konferanse
23rd Annual Meeting of the IEEE Photonics-Society, Denver, CO, NOV 07-11, 2010
Merknad
© 2010 IEEE. Personal use of this material is permitted. Permission from IEEE must be obtained for all other uses, in any current or future media, including reprinting/republishing this material for advertising or promotional purposes, creating new collective works, for resale or redistribution to servers or lists, or reuse of any copyrighted component of this work in other works. QC 20110405Tilgjengelig fra: 2011-11-17 Laget: 2011-04-04 Sist oppdatert: 2024-03-18bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

fulltext(768 kB)414 nedlastinger
Filinformasjon
Fil FULLTEXT01.pdfFilstørrelse 768 kBChecksum SHA-512
2e4c9bfb5fc03e41be14c2e19f180ee3547d4082dc70e91b2331435a98538ddc9e2ccd26a7428c688a67a918c0b18fd9f1dbadfa8798be3e50e2dda858297069
Type fulltextMimetype application/pdf

Andre lenker

Forlagets fulltekstScopusIEEE Xplore

Person

Fischer, Andreas C.Forsberg, FredrikRoxhed, NiclasStemme, GöranNiklaus, Frank

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Fischer, Andreas C.Forsberg, FredrikLapisa, MartinRoxhed, NiclasStemme, GöranNiklaus, Frank
Av organisasjonen

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 414 nedlastinger
Antall nedlastinger er summen av alle nedlastinger av alle fulltekster. Det kan for eksempel være tidligere versjoner som er ikke lenger tilgjengelige

doi
isbn
urn-nbn

Altmetric

doi
isbn
urn-nbn
Totalt: 256 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf