Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
One-step fabrication of polymer components for microphotonics by gray scale electron beam lithography
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik, Optik.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik, Optik.
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik, Optik.
2011 (Engelska)Ingår i: J EUR OPT SOC-RAPID PUBL, ISSN 1990-2573, Vol. 6, s. 11010-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We demonstrate an application of gray scale electron beam lithography (EBL) for the fabrication of polymer waveguides and grating output couplers with depth variable features, using the SU-8 resist. The technique is mainly applicable for multi-level binary profile, where groove depths of the structure are controlled by choosing a proper exposure dose. Unlike reactive ion etching which is limited by the lag effect, the gray scale EBL allows free combination of groove widths and depths. Shrinking effect which is critical in polymer couplers' writing is taken into account and can be compensated. For better fabrication feasibility, the grating couplers can be simultaneously produced with waveguides with no inter-step alignment required. Therefore, this is a promising technique in manufacturing grating output couplers for polymer based waveguides with high performance in terms of mode matching/confinement and coupling efficiency.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2011. Vol. 6, s. 11010-
Nyckelord [en]
gray scale electron beam lithography, 3D polymer waveguides and grating couplers, lag effect
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-33227DOI: 10.2971/jeos.2011.11010ISI: 000289366300002Scopus ID: 2-s2.0-84858190694OAI: oai:DiVA.org:kth-33227DiVA, id: diva2:415843
Anmärkning

QC 20110509

Tillgänglig från: 2011-05-09 Skapad: 2011-05-02 Senast uppdaterad: 2012-10-12Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Dong, LinPopov, SergeiFriberg, Ari
Av organisationen
Optik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 199 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf