Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical resistivity and morphology of ultra thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO(2)
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).ORCID-id: 0000-0001-9008-8402
Visa övriga samt affilieringar
2008 (Engelska)Ingår i: Journal of Physics Conference Series, IOP Science , 2008, Vol. 100Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

Ultra thin platinum films were grown by dc magnetron sputtering on thermally oxidized Si (100) substrates. The electrical resistance of the films was monitored in-situ during growth. The coalescence thickness was determined for various growth temperatures and found to increase from 1.3 nm for films grown at room temperature to 1.8 nm for films grown at 250 degrees C, while a continuous film was formed at a thickness of 3.9 nm at room temperature and 3.5 nm at 250 degrees C. The electrical resistivity increases with increased growth temperature, as well as the morphological grain size, and the surface roughness, measured with a scanning tunneling microscope (STM).

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
IOP Science , 2008. Vol. 100
Serie
Journal of Physics Conference Series, ISSN 1742-6588
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-47312DOI: 10.1088/1742-6596/100/8/082006ISI: 000275655200284Scopus ID: 2-s2.0-77954332382OAI: oai:DiVA.org:kth-47312DiVA, id: diva2:454739
Konferens
17th International Vacuum Congress/13th International Conference on Surface Science/Internatinal Conference on Nanoscience and Technology, Stockholm, Sweden, July 2-6, 2007.
Anmärkning

QC 20111110

Tillgänglig från: 2011-11-10 Skapad: 2011-11-08 Senast uppdaterad: 2017-04-07Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(527 kB)1103 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 527 kBChecksumma SHA-512
18e2272099a28e5b6a0d7ebaea6fbe92be0b1bf86183be7fcecc7afc633744fa08d751dfe56c42a575f154fee3aade752b9df11aeaf19712712b35e846093760
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopusPublished version

Personposter BETA

Gylfason, Kristinn B.Gudmundsson, Jon Tomas

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Gylfason, Kristinn B.Gudmundsson, Jon Tomas
Av organisationen
Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201)
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 1103 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 349 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf