Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Observation of near-surface electrically active defects in n-type 6H-SiC
Visa övriga samt affilieringar
1998 (Engelska)Ingår i: Journal of Applied Physics, ISSN 0021-8979, E-ISSN 1089-7550, Vol. 83, s. 3649-3651Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

In n-type 6H-SiC epitaxial layers grown by vapor phase epitaxy, we find that in contrast to the majority of the epitaxial layer, where electrically active defects are observed with a concentration less than 1 X 10(-13) cm(-3), a region near the front surface contains defects with concentrations approaching 10(14) cm(-3). A relationship between the near-surface defects and metallic impurities is suggested by a Ti concentration of 1 X 10(16) cm(-3) in this region. The high concentration of near surface defects is found to significantly reduce the carrier lifetime. (C) 1998 American Institute of Physics. [S0021-8979(98)03007-2].

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1998. Vol. 83, s. 3649-3651
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-60823DOI: 10.1063/1.367147OAI: oai:DiVA.org:kth-60823DiVA, id: diva2:481503
Anmärkning

NR 20140805

Tillgänglig från: 2012-01-21 Skapad: 2012-01-15 Senast uppdaterad: 2017-12-08Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Nordell, NLinnarsson, M K

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Nordell, NLinnarsson, M K
Av organisationen
Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT)
I samma tidskrift
Journal of Applied Physics
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 29 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf