Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Hydrogen passivation of silicon carbide by low-energy ion implantation
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT).ORCID-id: 0000-0002-0292-224X
Visa övriga samt affilieringar
1998 (Engelska)Ingår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 73, s. 945-947Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

implantation of deuterium is performed to investigate the mobility and passivating effect of hydrogen in epitaxial alpha-SiC (polytypes 4H and 6H). To avoid excessive damage and the resulting trapping of hydrogen, the implantation is performed with low energy (600 eV H-2(2)+). The H-2 depth profile is analyzed by secondary ion mass spectrometry. Electrical properties are measured by capacitance-voltage profiling and admittance spectroscopy. In p-type SIG, hydrogen diffuses on a mu m scale even at room temperature and effectively passivates accepters. In n-type SiC, the incorporation of H is suppressed and no passivation is detected. (C) 1998 American Institute of Physics.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1998. Vol. 73, s. 945-947
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-60820DOI: 10.1063/1.122047OAI: oai:DiVA.org:kth-60820DiVA, id: diva2:481506
Anmärkning
NR 20140805Tillgänglig från: 2012-01-21 Skapad: 2012-01-15 Senast uppdaterad: 2017-12-08Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Linnarsson, M K

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Linnarsson, M K
Av organisationen
Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT)
I samma tidskrift
Applied Physics Letters
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 381 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf