Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Growth and characterization of epitaxial Ti3GeC2 thin films on 4H-SiC(0001)
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: Journal of Crystal Growth, ISSN 0022-0248, E-ISSN 1873-5002, Vol. 343, nr 1, s. 133-137Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Epitaxial Ti3GeC2 thin films were deposited on 4 degrees off-cut 4H-SiC(0001) using magnetron sputtering from high purity Ti, C, and Ge targets. Scanning electron microscopy and helium ion microscopy show that the Ti3GeC2 films grow by lateral step-flow with {11 (2) over bar0} faceting on the SiC surface. Using elastic recoil detection analysis, atomic force microscopy, and X-Ray diffraction the films were found to be substoichiometric in Ge with the presence of small Ge particles at the surface of the film.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2012. Vol. 343, nr 1, s. 133-137
Nyckelord [en]
Surface structure, Atomic force microscopy, Helium ion microscopy, Physical vapor deposition processes, Titanium compound
Nationell ämneskategori
Elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-94058DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2012.01.020ISI: 000302422300023Scopus ID: 2-s2.0-84862818345OAI: oai:DiVA.org:kth-94058DiVA, id: diva2:525637
Forskningsfinansiär
StandUp
Anmärkning

QC 20120508

Tillgänglig från: 2012-05-08 Skapad: 2012-05-07 Senast uppdaterad: 2017-12-07Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Zetterling, Carl-Mikael

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Ghandi, RezaDomeij, MartinZetterling, Carl-Mikael
Av organisationen
Integrerade komponenter och kretsar
I samma tidskrift
Journal of Crystal Growth
Elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 215 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf