Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Fabrication of highly ordered nanopillar arrays and defined etching of ALD-grown all-around platinum films
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering, ISSN 0960-1317, E-ISSN 1361-6439, Vol. 22, nr 8, s. 085013-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Highly ordered arrays of silicon nanopillars are etched by means of induced-coupled-plasma reactive-ion etching (RIE). The sulfur hexafluoride/oxygen (SF6/O-2)-based cryogenic process allows etching of nanopillars with an aspect ratio higher than 20:1 and diameters down to 30 nm. Diameters can be further reduced by a well-controllable oxidation process in O-2-ambient and a subsequent etching in hydrofluoric acid. This approach effectively removes surface contaminations induced by former RIE, as shown by x-ray photoelectron spectroscopy. Atomic layer deposition (ALD) is used to establish an all-around Al2O3/Pt stack onto the vertically aligned nanorods. Two approaches are successfully applied to remove the resistant Pt coating from the nanopillar tips.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2012. Vol. 22, nr 8, s. 085013-
Nyckelord [en]
Silicon, Transistors, Mosfet
Nationell ämneskategori
Elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-101121DOI: 10.1088/0960-1317/22/8/085013ISI: 000306649000013Scopus ID: 2-s2.0-84864467977OAI: oai:DiVA.org:kth-101121DiVA, id: diva2:547029
Anmärkning

QC 20120827

Tillgänglig från: 2012-08-27 Skapad: 2012-08-23 Senast uppdaterad: 2017-12-07Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Henkel, Christoph
Av organisationen
Integrerade komponenter och kretsar
I samma tidskrift
Journal of Micromechanics and Microengineering
Elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 198 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf