Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
MEMS 30μm-thick W-band Waveguide Switch
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201). (RF MEMS)
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201). (RF MEMS)ORCID-id: 0000-0002-8264-3231
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).ORCID-id: 0000-0001-9552-4234
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: European Microwave Week 2012: "Space for Microwaves", EuMW 2012, Conference Proceedings - 7th European Microwave Integrated Circuits Conference, EuMIC 2012, European Microwave Association , 2012, s. 675-678Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

This paper presents for the first time a novel concept of a MEMS waveguide switch based on a reconfigurable surface, whose working principle is to short-circuit or to allow for free propagation of the electrical field lines of the TE10 mode of a WR-12 rectangular waveguide. This transmissive surface is only 30μm thick and consists of up to 1260 reconfiguring cantilevers in the waveguide cross-section, which are moved simultaneously by integrated MEMS comb-drive actuators. For the first fabrication run, the yield of these reconfigurable elements on the chips was 80-86%, which still was good enough for resulting in a measured insertion loss in the open state of better than 1dB and an isolation of better than 20dB for the best designs, very wideband from 62 to 75GHz. For 100% fabrication yield, HFSS simulations predict that an insertion loss in the open state of better than 0.1dB and an isolation of better than 30dB in the closed state are possible for designs with 800 and more contact points for this novel waveguide switch concept.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
European Microwave Association , 2012. s. 675-678
Nyckelord [en]
RF MEMS, reconfigurable surface, waveguide switch
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-116707ISI: 000318630900170Scopus ID: 2-s2.0-84875927778OAI: oai:DiVA.org:kth-116707DiVA, id: diva2:600449
Konferens
7th European Microwave Integrated Circuits Conference, EuMIC 2012 - Held as Part of 15th European Microwave Week, EuMW 2012; Amsterdam; Netherlands; 29 October 2012 through 30 October 2012
Anmärkning

QC 20130115

Tillgänglig från: 2013-01-25 Skapad: 2013-01-24 Senast uppdaterad: 2019-03-08Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(778 kB)468 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 778 kBChecksumma SHA-512
b507aefb031e4731243c967b6a1b8b083e4da5c94be30db90ecbbaf3f06caebf0dfa93afdb756717110dcd6be731a2029e6d913cba704eb490a76a1252a6b30f
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

ScopusConference website

Personposter BETA

Stemme, Göran

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Baghchehsaraei, ZarghamShah, UmerDudorov, SergeyStemme, GöranOberhammer, Joachim
Av organisationen
Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201)
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 468 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 304 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf