Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
3D fabrication of waveguide and grating coupler in SU-8 by optimized gray scale electron beam lithography
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik (Stängd 20120101), Optik (Stängd 20120101).
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik (Stängd 20120101), Optik (Stängd 20120101).
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik (Stängd 20120101), Optik (Stängd 20120101).
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Fotonik och optik (Stängd 20120101), Optik (Stängd 20120101).
2010 (Engelska)Ingår i: 2010 Asia Communications and Photonics Conference and Exhibition, ACP 2010, 2010, s. 542-543Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

Gray scale electron beam lithography is optimized for simple and accurate prototyping of 3D waveguides and grating output couplers in SU-8. Gratings with complex profiles and free of lag effect can be realized with this technique.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2010. s. 542-543
Nyckelord [en]
3D fabrication, Complex profiles, Grating couplers, Gray scale, Lag effects, Output couplers, Prototyping, Electron beam lithography, Electron beams, Optimization, Three dimensional, Waveguides, Photonics
Nationell ämneskategori
Annan fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-150028DOI: 10.1109/ACP.2010.5682619Scopus ID: 2-s2.0-79851470828ISBN: 978-142447111-9 (tryckt)OAI: oai:DiVA.org:kth-150028DiVA, id: diva2:742245
Konferens
Asia Communications and Photonics Conference and Exhibition, ACP 2010, 8 December 2010 through 12 December 2010, Shanghai, China
Anmärkning

QC 20140901

Tillgänglig från: 2014-09-01 Skapad: 2014-08-29 Senast uppdaterad: 2014-09-01Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Dong, LinIyer, SrinivasanPopov, SergeiFriberg, Ari
Av organisationen
Optik (Stängd 20120101)
Annan fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
isbn
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
isbn
urn-nbn
Totalt: 235 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf