Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Gray scale E-beam lithography to fabricate 3D microsized waveguide and grating coupler in SU-8
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT).
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT).
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT).
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT). Aalto University, Finland.
2010 (Engelska)Ingår i: Frontiers in Optics, 2010Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

Gray scale electron beam lithography is applied to prototype 3D waveguides and grating output couplers in SU-8 with simple and accurate method. The lag effect in reactive ion etching of Silicon-on-insulator gratings is avoided here.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2010.
Serie
Optics InfoBase Conference Papers, ISSN 2162-2701
Nyckelord [en]
e-Beam lithography, Grating couplers, Gray scale, Gray scale electron beam lithographies, Lag effects, Output couplers
Nationell ämneskategori
Annan fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-165016Scopus ID: 2-s2.0-84896776444OAI: oai:DiVA.org:kth-165016DiVA, id: diva2:807262
Konferens
Laser Science, LS 2010, Rochester, NY, United States, 24 October 2010 through 28 October 2010
Anmärkning

QC 20150423

Tillgänglig från: 2015-04-23 Skapad: 2015-04-21 Senast uppdaterad: 2015-04-23Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Scopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Dong, LinIyer, SrinivasanPopov, SergeiFriberg, Ari
Av organisationen
Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT)
Annan fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 149 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf