Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Fabrication of Nanowires
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.ORCID-id: 0000-0001-6705-1660
KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.ORCID-id: 0000-0002-5845-3032
Visa övriga samt affilieringar
2014 (Engelska)Ingår i: Beyond CMOS Nanodevices 1, Wiley Blackwell , 2014, s. 5-23Kapitel i bok, del av antologi (Övrigt vetenskapligt)
Abstract [en]

Several fabrication processes of silicon nanowires have been developed in the research community. They can be divided into bottom-up or top-down approaches. This chapter describes top-down fabrication of silicon nanowires using electron beam lithography (EBL), which combined with optical lithography can be a viable approach if not too many silicon nanowires need to be patterned on a wafer. It also describes the sidewall transfer lithography (STL) technique using I-line stepper lithography to pattern a vast amount of silicon nanowires on a silicon wafer. In addition the chapter examines how bottom-up Si nanowires synthesized by vapor-liquid-solid (VLS)-chemical vapor deposition (CVD) can be assembled at low cost in an efficient way for further use as a sensing material. Among the solution-based assembly methods for the nanostructured network (nanonet) fabrication, the vacuum filtration method is highly simple, versatile, low cost and scalable to large areas.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Wiley Blackwell , 2014. s. 5-23
Nationell ämneskategori
Materialkemi Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-174718DOI: 10.1002/9781118984772.ch1Scopus ID: 2-s2.0-84926399351ISBN: 9781118984772 (tryckt)ISBN: 9781848216549 (tryckt)OAI: oai:DiVA.org:kth-174718DiVA, id: diva2:867571
Anmärkning

QC 20151105

Tillgänglig från: 2015-11-05 Skapad: 2015-10-07 Senast uppdaterad: 2015-11-05Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Hellström, Per-Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hellström, Per-ErikÖstling, Mikael
Av organisationen
Integrerade komponenter och kretsar
MaterialkemiAnnan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
isbn
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
isbn
urn-nbn
Totalt: 221 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf