Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Selective release of InP heterostructures from InP substrates
Visa övriga samt affilieringar
2016 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B, ISSN 1071-1023, E-ISSN 1520-8567, Vol. 34, nr 4, artikel-id 041229Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The authors report here a method of protecting the sidewall for the selective release of InGaAsP quantum-well (QW) heterostructure from InP substrates. An intact sidewall secured by SiO2 was demonstrated during the sacrificial layer selective etching, resulting in the suspended InGaAsP QW membranes which were later transferred to the Si substrate with polydimethylsiloxane stamp. The quality of the transferred InGaAsP QW membranes has been validated through photoluminescence and EL measurements. This approach could extend to arbitrary targeting substrate in numerous photonics and electronics applications.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
American Institute of Physics (AIP), 2016. Vol. 34, nr 4, artikel-id 041229
Nationell ämneskategori
Nanoteknik Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-192757DOI: 10.1116/1.4958799ISI: 000382207700040Scopus ID: 2-s2.0-84978524095OAI: oai:DiVA.org:kth-192757DiVA, id: diva2:974265
Anmärkning

QC 20160926

Tillgänglig från: 2016-09-26 Skapad: 2016-09-20 Senast uppdaterad: 2017-11-21Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Berggren, JesperHammar, Mattias
Av organisationen
Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT)Integrerade komponenter och kretsar
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology B
NanoteknikFysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 101 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf