Endre søk
Begrens søket
12 1 - 50 of 99
RefereraExporteraLink til resultatlisten
Permanent link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Treff pr side
  • 5
  • 10
  • 20
  • 50
  • 100
  • 250
Sortering
  • Standard (Relevans)
  • Forfatter A-Ø
  • Forfatter Ø-A
  • Tittel A-Ø
  • Tittel Ø-A
  • Type publikasjon A-Ø
  • Type publikasjon Ø-A
  • Eldste først
  • Nyeste først
  • Skapad (Eldste først)
  • Skapad (Nyeste først)
  • Senast uppdaterad (Eldste først)
  • Senast uppdaterad (Nyeste først)
  • Disputationsdatum (tidligste først)
  • Disputationsdatum (siste først)
  • Standard (Relevans)
  • Forfatter A-Ø
  • Forfatter Ø-A
  • Tittel A-Ø
  • Tittel Ø-A
  • Type publikasjon A-Ø
  • Type publikasjon Ø-A
  • Eldste først
  • Nyeste først
  • Skapad (Eldste først)
  • Skapad (Nyeste først)
  • Senast uppdaterad (Eldste først)
  • Senast uppdaterad (Nyeste først)
  • Disputationsdatum (tidligste først)
  • Disputationsdatum (siste først)
Merk
Maxantalet träffar du kan exportera från sökgränssnittet är 250. Vid större uttag använd dig av utsökningar.
  • 1. Abasahl, B.
    et al.
    Zand, I.
    Lerma Arce, C.
    Kumar, S.
    Quack, N.
    Jezzini, M. A.
    Hwang, H. Y.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Porcel, M. A. G.
    Bogaerts, W.
    Towards Low-Power Reconfigurable Photonic ICs Based on MEMS Technology2018Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
    Abstract [en]

    With the progress and industrialization of photonic integrated circuits (PIC) in the past few decades, there is a strong urge towards design and prototyping in a fast, low-cost and reliable manner. In electronics, this demand is met through field programmable gate arrays (FPGA). In the Horizon 2020 MORPHIC (MEMS-based zerO-power Reconfigurable Photonic ICs) project, we are developing a reconfigurable PIC platform to address this demand in the field of photonics and to facilitate the path from idea towards realization for PIC designers and manufacturers.

  • 2. Agustsson, J. S.
    et al.
    Agustsson, B. V.
    Eriksson, A. K.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Olafsson, S.
    Johnsen, K.
    Gudmundsson, J. T.
    Hydrogen uptake in MgO thin films grown by reactive magnetron sputtering2006Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
    Abstract
  • 3. Agustsson, J. S.
    et al.
    Arnalds, U. B.
    Ingason, A. S.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Johnsen, K.
    Olafsson, S.
    Gudmundsson, Jon Tomas
    University of Iceland, Iceland.
    Electrical resistivity and morphology of ultra thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO(2)2008Inngår i: Journal of Physics Conference Series, IOP Science , 2008, Vol. 100Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    Ultra thin platinum films were grown by dc magnetron sputtering on thermally oxidized Si (100) substrates. The electrical resistance of the films was monitored in-situ during growth. The coalescence thickness was determined for various growth temperatures and found to increase from 1.3 nm for films grown at room temperature to 1.8 nm for films grown at 250 degrees C, while a continuous film was formed at a thickness of 3.9 nm at room temperature and 3.5 nm at 250 degrees C. The electrical resistivity increases with increased growth temperature, as well as the morphological grain size, and the surface roughness, measured with a scanning tunneling microscope (STM).

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 4. Agustsson, J. S.
    et al.
    Arnalds, U. B.
    Ingason, A. S.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Johnsen, K.
    Olafsson, S.
    Gudmundsson, Jon Tomas
    University of Iceland, Iceland.
    Growth, coalescence, and electrical resistivity of thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO22008Inngår i: Applied Surface Science, ISSN 0169-4332, E-ISSN 1873-5584, Vol. 254, nr 22, s. 7356-7360Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    Ultra thin platinum films were grown by dc magnetron sputtering on thermally oxidized Si (100) substrates. The electrical resistance of the films was monitored in situ during growth. The coalescence thickness was determined for various growth temperatures and found to increase from 1.1 nm for films grown at room temperature to 3.3 nm for films grown at 400 degrees C. A continuous film was formed at a thickness of 2.9 nm at room temperature and 7.5 nm at 400 degrees C. The room temperature electrical resistivity decreases with increased growth temperature, while the in-plain grain size and the surface roughness, measured with a scanning tunneling microscope (STM), increase. Furthermore, the temperature dependence of the film electrical resistance was explored at various stages during growth.

  • 5. Agustsson, Jon S.
    et al.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Olafsson, Sveinn
    Johnsen, Kristinn
    Gudmundsson, Jon T
    Electrical properties of thin MgO films2005Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
  • 6. Alvarez, Jesus
    et al.
    Sola, Laura
    Cretich, Marina
    Swan, Marcus
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Volden, Tormod
    Chiari, Marcella
    Hill, Daniel
    A Real Time Immunoassay in Alumina Membranes2014Inngår i: SENSORS, 2014 IEEE, IEEE conference proceedings, 2014, s. 1760-1763Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    To date, photonic biosensing with porous membranes has produced slow responses and long sensing times, due to the narrow (less than 100 nm) closed end pores of the membranes used. Recently, polarimetry was used to demonstrate analyte flow through, and real time biosensing in, free-standing porous alumina membranes. Here, we demonstrate how an improved functionalization technology, has for the first time enabled a real-time immunoassay within a porous membrane with a total assay time below one hour. With the new approach, we show a noise floor for individual biosensing measurements of 3.7 ng/ml (25 pM), and a bulk refractive index detection limit of 5×10-6 RIU, with a standard deviation of less than 5%. The membranes, with their 200 nm pore diameter enabling targeted delivering of analytes to bioreceptors immobilized on the pore walls, therefore provide a route towards rapid and low cost real-time opto-fluidic biosensors for small sample volumes.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 7.
    Antelius, Mikael
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    An apodized SOI waveguide-to-fiber surface grating coupler for single lithography silicon photonics2011Inngår i: Optics Express, ISSN 1094-4087, E-ISSN 1094-4087, Vol. 19, nr 4, s. 3592-3598Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We present the design, fabrication, and characterization of a grating for coupling between a single mode silica fiber and the TE mode in a silicon photonic waveguide on a silicon on insulator (SOI) substrate. The grating is etched completely through the silicon device layer, thus permitting the fabrication of through-etched surface coupled silicon nanophotonic circuits in a single lithography step. Furthermore, the grating is apodized to match the diffracted wave to the mode profile of the fiber. We experimentally demonstrate a coupling efficiency of 35% with a 1 dB bandwidth of 47 nm at 1536 nm on a standard SOI substrate. Furthermore, we show by simulation that with an optimized buried oxide thickness, a coupling efficiency of 72% and a 1 dB bandwidth of 38 nm at 1550 nm is achievable. This is, to our knowledge, the highest simulated coupling efficiency for single-etch TE-mode grating couplers. In particular, simulations show that apodizing a conventional periodic through-etched grating decreases the back-reflection into the waveguide from 21% to 0.1%.

  • 8.
    Antelius, Mikael
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    An apodized surface grating coupler enabling single lithography silicon photonic nanowire sensors2012Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
  • 9. Arnalds, U. B.
    et al.
    Agustsson, J. S.
    Ingason, A. S.
    Eriksson, A. K.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Gudmundsson, J. T.
    Olafsson, S.
    A magnetron sputtering system for the preparation of patterned thin films and in situ thin film electrical resistance measurements2007Inngår i: Review of Scientific Instruments, ISSN 0034-6748, E-ISSN 1089-7623, Vol. 78, nr 10, s. 103901-Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We describe a versatile three gun magnetron sputtering system with a custom made sample holder for in situ electrical resistance measurements, both during film growth and ambient changes on film electrical properties. The sample holder allows for the preparation of patterned thin film structures, using up to five different shadow masks without breaking vacuum. We show how the system is used to monitor the electrical resistance of thin metallic films during growth and to study the thermodynamics of hydrogen uptake in metallic thin films. Furthermore, we demonstrate the growth of thin film capacitors, where patterned films are created using shadow masks.

  • 10.
    Baghban, Mohammad Amin
    et al.
    KTH, Skolan för teknikvetenskap (SCI), Tillämpad fysik, Kvantelektronik och -optik, QEO.
    Schollhammer, Jean
    KTH, Skolan för teknikvetenskap (SCI), Tillämpad fysik, Kvantelektronik och -optik, QEO.
    Errando-Herranz, Carlos
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gallo, Katia
    KTH, Skolan för teknikvetenskap (SCI), Tillämpad fysik, Kvantelektronik och -optik, QEO.
    Waveguide Gratings in Thin-Film Lithium Niobate on Insulator2017Inngår i: CLEO: 2017, OSA Technical Digest, Optical Society of America, 2017Konferansepaper (Fagfellevurdert)
  • 11. Barrios, C. A.
    et al.
    Holgado, M.
    Guarneros, O.
    Gylfason, Kristinn Björgvin
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Sanchez, B.
    Casquel, R.
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Reconfiguration of microring resonators by liquid adhesion2008Inngår i: Applied Physics Letters, ISSN 0003-6951, E-ISSN 1077-3118, Vol. 93, nr 20, artikkel-id 203114Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We present a procedure to reconfigure microring resonators based on liquid surface adhesion. Droplets of organic solvents were deposited over Si3N4/SiO2 strip- and slot-waveguide ring resonators, and the transmission spectra were measured several hours after the evaporation of the droplets at room temperature. Our measurements show that the optical properties of the microrings are significantly modified by liquid adhered to the waveguides, persisting even 96 h after bulk evaporation. Liquid-solid interfacial forces slow down liquid evaporation at the nanoscale, enabling permanent photonic configurations. Rewriteability is achieved by removing the adhered liquid with heat.

  • 12.
    Barrios, Carlos A.
    et al.
    Univ Politecn Madrid, ETSI Telecomunicac, ISOM, E-28040 Madrid, Spain..
    Gylfason, Kristinn
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES).
    Sanchez, Benito
    Univ Politecn Valencia, NTC, Valencia 46022, Spain..
    Griol, Amadeu
    Univ Politecn Valencia, NTC, Valencia 46022, Spain..
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES).
    Holgado, M.
    Univ Politecn Madrid, Ctr Laser, Madrid 28031, Spain..
    Casquel, R.
    Univ Politecn Madrid, Ctr Laser, Madrid 28031, Spain..
    Slot-waveguide biochemical sensor (vol 32, pg 2080, 2007)2008Inngår i: Optics Letters, ISSN 0146-9592, E-ISSN 1539-4794, Vol. 33, nr 21, s. 2554-2555Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    The group index, instead of the effective index, is used to analyze the performance of a Si(3)N(4)-SiO(2) slot-waveguide microring refractive index sensor [Opt. Lett. 32, 3080 (2007)]. Assuming that the slot is fully filled with liquid, excellent agreement is found between experimental results and calculations.

  • 13. Barrios, Carlos Angulo
    et al.
    Banuls, Maria Jose
    Gonzalez-Pedro, Victoria
    Gylfason, Kristinn Björgvin
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Sanchez, Benito
    Griol, Amadeu
    Maquieira, Angel
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Holgado, Miquel
    Calquel, Raphael
    Label-free optical biosensing with slot-waveguides2008Inngår i: Optics Letters, ISSN 0146-9592, E-ISSN 1539-4794, Vol. 33, nr 7, s. 708-710Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We demonstrate label-free molecule detection by using an integrated biosensor based on a Si3N4/SiO2 Slot-waveguide microring resonator. Bovine serum albumin (BSA) and anti-BSA molecular binding events on the sensor surface are monitored through the measurement of resonant wavelength shifts with varying biomolecule concentrations. The biosensor exhibited sensitivities of 1.8 and 3.2 nm/(ng/mm(2)) for the detection of anti-BSA and BSA, respectively. The estimated detection limits are 28 and 16 pg/mm(2) for anti-BSA and BSA, respectively, limited by wavelength resolution.

  • 14.
    Barrios, Carlos Angulo
    et al.
    Univ. Politécnica de Valencia.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Sanchez, Benito
    Griol, Amadeu
    Univ. Politécnica de Valencia.
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Holgado, Miguel
    Univ. Politécnica de Madrid.
    Casquel, Rafael
    Integrated slot-waveguide microresonator for biochemical sensing2008Inngår i: Proceedings Europtrode IX, 2008Konferansepaper (Fagfellevurdert)
  • 15. Barrios, Carlos Angulo
    et al.
    Gylfason, Kristinn Björgvin
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Sanchez, Benito
    Griol, Amadeu
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Holgado, Miquel
    Casquel, Raphael
    Slot-waveguide biochemical sensor2007Inngår i: Optics Letters, ISSN 0146-9592, E-ISSN 1539-4794, Vol. 32, nr 21, s. 3080-3082Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We report an experimental demonstration of an integrated biochemical sensor based on a slot-waveguidemicroring resonator. The microresonator is fabricated on a Si3N4-SiO2 platform and operates at a wavelength of 1.3 mu m. The transmission spectrum of the sensor is measured with different ambient refractive indices ranging from n = 1. 33 to 1.42. A linear shift of the resonant wavelength with increasing ambient refractive index of 212 nm/refractive index units (RIU) is observed. The sensor detects a minimal refractive index variation of 2 X 10(-4) RIU.

  • 16. Barrios, Carlos Angulo
    et al.
    Sanchez, Benito
    Gylfason, Kristinn Björgvin
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Griol, Amadeu
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Holgado, Miquel
    Casquel, Raphael
    Demonstration of slot-waveguide structures on silicon nitride / silicon oxide platform2007Inngår i: Optics Express, ISSN 1094-4087, E-ISSN 1094-4087, Vol. 15, nr 11, s. 6846-6856Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We report on the first demonstration of guiding light in vertical slot-waveguides on silicon nitride/silicon oxide material system. Integrated ring resonators and Fabry-Perot cavities have been fabricated and characterized in order to determine optical features of the slot-waveguides. Group index behavior evidences guiding and confinement in the low-index slot region at O-band (1260-1370nm) telecommunication wavelengths. Propagation losses of < 20 dB/cm have been measured for the transverse-electric mode of the slot-waveguides.

  • 17. Barrios, Carlos
    et al.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Sánches, Benito
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Griol, Amadeu
    Casquel, Rafael
    Holgado, Miguel
    Integrated Si3N4/SiO2 Slot-Waveguide Microresonators2007Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We demonstrate slot-waveguide microring resonators and Fabry-Perot microcavities on Si3N4/SiO2. Characterization indicates guiding and confinement in the waveguide nanometric-size low-index slot region at O-band (1260-1370nm) wavelengths. We measured propagation losses <20 dB/cm.

  • 18.
    Bleiker, Simon J.
    et al.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Dubois, Valentin J.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Schröder, Stephan
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Ottonello Briano, Floria
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Adhesive Wafer Bonding for Heterogeneous System Integration2018Inngår i: ECS Meeting Abstracts / [ed] The Electrochemical Society, 2018Konferansepaper (Fagfellevurdert)
  • 19.
    Carlborg, Carl Fredrik
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Wijngaart, Wouter van der
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Hill, Daniel
    Sanchez, Benito
    Griol, Amadeu
    Maire, Guillaume
    Dortu, Fabian
    Viviena, Laurent
    Stragier, Anne-Sophie
    Marris-Morini, Delphine
    Cassan, Eric
    Kazmierczak, Andrzej
    Giannone, Domenico
    Banuls, Mari­a José
    Gonzalez-Pedro, Victoria
    Maquieira, Angel
    Barrios, Carlos A.
    Holgado, Miguel
    Casquel, Rafael
    Ultrahigh sensitivity slot-waveguide biosensor on a highly integrated chip for simultaneous diagnosis of multiple diseases2008Inngår i: Medicinteknikdagarna, Gothenburg, 2008, 2008Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
  • 20.
    Carlborg, Carl Fredrik
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Gylfason, Kristinn Björgvin
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Kazmierczak, Andrzej
    Dortu, Fabian
    Banuls Polo, Maria Jose
    Maquieira Catala, Angel
    Kresbach, Gerhard
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Moh, Thomas
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Vivien, Laurent
    Popplewell, Jon
    Ronan, Gerry
    Barrios, Carlos Angulo
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    van der Wijngaart, Wouter
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    A packaged optical slot-waveguide ring resonator sensor array for multiplex label-free assays in labs-on-chips2010Inngår i: Lab on a Chip, ISSN 1473-0197, E-ISSN 1473-0189, Vol. 10, nr 3, s. 281-290Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We present the design, fabrication, and characterisation of an array of optical slot-waveguide ring resonator sensors, integrated with microfluidic sample handling in a compact cartridge, for multiplexed real-time label-free biosensing. Multiplexing not only enables high throughput, but also provides reference channels for drift compensation and control experiments. Our use of alignment tolerant surface gratings to couple light into the optical chip enables quick replacement of cartridges in the read-out instrument. Furthermore, our novel use of a dual surface-energy adhesive film to bond a hard plastic shell directly to the PDMS microfluidic network allows for fast and leak-tight assembly of compact cartridges with tightly spaced fluidic interconnects. The high sensitivity of the slot-waveguide resonators, combined with on-chip referencing and physical modelling, yields a volume refractive index detection limit of 5 x 10(-6) refractive index units (RIUs) and a surface mass density detection limit of 0.9 pg mm(-2), to our knowledge the best reported values for integrated planar ring resonators.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 21.
    Dubois, Valentin J.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Antelius, Mikael
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    A single-lithography SOI rib waveguide sensing circuit with apodized low back-reflection surface grating fiber coupling2012Inngår i: SILICON PHOTONICS AND PHOTONIC INTEGRATED CIRCUITS III / [ed] Laurent Vivien, Seppo K. Honkanen, Lorenzo Pavesi, Stefano Pelli, SPIE - International Society for Optical Engineering, 2012, Vol. 8431, s. 84311-84311Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We present a single-lithography Mach-Zehnder interferometer sensor circuit, with integrated low back-reflection input and output grating couplers. The low back-reflection is accomplished by a duty cycle apodization optimized for coupling light between single-mode silica fibers and the nanometric silicon-on-insulator (SOI) rib-waveguides. We discuss the design, fabrication, and characterization of the circuit. The apodization profile of the gratings is algorithmically generated using eigenmode expansion based simulations and the integrated waveguides, splitters, and combiners are designed using finite element simulations. The maximum simulated coupling efficiencies of the gratings are 70% and the multimode interference splitters and combiners have a footprint of only 19.2ᅵ4.5 ᅵm2. The devices are fabricated on an SOI wafer with a 220 nmdevice layer and 2 ᅵm buried oxide, by a single electron beam lithography and plasma etching. We characterize the devices in the wavelength range from 1460-1580 nm and show a grating pass-band ripple of only 0.06 dB and grating coupling efficiency of 40% at 1530 nm. The integrated Mach-Zehnder interferometer has an extinction ratio of -18 dB at 1530 nm and between -13 and -19 dB over the whole 1460-1580 nm range.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 22.
    Edinger, Pierre
    et al.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Errando-Herranz, Carlos
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Low-loss MEMS phase shifter for large scale reconfigurable silicon photonics2019Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We experimentally demonstrate a silicon MEMS phase shifter achieving more than π phase shift with sub-dB insertion loss (IL).  The phase is tuned by reducing the gap between a static suspended waveguide and a free silicon beam, via comb-drive actuation.  Our device reaches 1.2π phase shift at only 20 V, with only 0.3 dB insertion loss – an order of magnitude improvement over previously reported MEMS devices.  The device has a small footprint of 50×70 µm2 and its power consumption is 5 orders of magnitude lower than that of traditional thermal phase shifters.  Our new phase shifter is a fundamental building block of the next-generation large scale reconfigurable photonic circuits which will find applications in datacenter interconnects, artificial intelligence (AI), and quantum computing.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 23.
    Edinger, Pierre
    et al.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
    Errando-Herranz, Carlos
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
    Reducing Actuation Nonlinearity of MEMS Phase Shifters for Reconfigurable Photonic Circuits2019Inngår i: 2019 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS (CLEO), IEEE , 2019Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    The low power consumption of MEMS actuators enables large-scale reconfigurable photonic circuits. However, insertion loss and actuation linearity need improvement. By simulations and experiments, we analyze the dominating design parameters affecting linearity and suggest improvements.

  • 24.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Colangelo, Marco
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Ahmed, Samy
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Björk, Joel
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    MEMS tunable silicon photonic grating coupler for post-assembly optimization of fiber-to-chip coupling2017Inngår i: Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2017 30th IEEE International Conference on / [ed] Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2017, s. 293-296Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We experimentally demonstrate the first MEMS tunable photonic fiber-to-waveguide grating coupler, and apply it to electrostatically optimize the light coupling between an optical fiber and an on-chip silicon photonic waveguide. Efficient and stable fiber-to-chip coupling is vital for combining the high optical quality of silica fibers with the integration density of silicon photonics. Our device has the potential to lower assembly cost and extend device lifetime, by enabling electrical post-assembly adjustments.

    Fulltekst (pdf)
    MEMS tunable silicon photonic grating coupler for post-assembly optimization of fiber-to-chip coupling
  • 25.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Das, Sandipan
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Suspended polarization beam splitter on silicon-on-insulator2018Inngår i: Optics Express, ISSN 1094-4087, E-ISSN 1094-4087, Vol. 26, nr 3, s. 2675-2681Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    Polarization handling in suspended silicon photonics has the potential to enable new applications in fields such as optomechanics, photonic microelectromechanical systems, and mid-infrared photonics. In this work, we experimentally demonstrate a suspended polarization beam splitter on a silicon-on-insulator waveguide platform, based on an asymmetric directional coupler. Our device presents polarization extinction ratios above 10 and 15 dB, and insertion losses below 5 and 1 dB, for TM and TE polarized input, respectively, across a 40 nm wavelength range at 1550 nm, with a device length below 8 µm. These results make our suspended polarization beam splitter a promising building block for future systems based on polarization diversity suspended photonics.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 26.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Edinger, Pierre
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Colangelo, Marco
    KTH.
    Björk, Joel
    KTH.
    Ahmed, Samy
    KTH.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    New dynamic silicon photonic components enabled by MEMS technology2018Inngår i: Proceedings Volume 10537, Silicon Photonics XIII, SPIE - International Society for Optical Engineering, 2018, Vol. 10537, artikkel-id 1053711Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    Silicon photonics is the study and application of integrated optical systems which use silicon as an optical medium, usually by confining light in optical waveguides etched into the surface of silicon-on-insulator (SOI) wafers. The term microelectromechanical systems (MEMS) refers to the technology of mechanics on the microscale actuated by electrostatic actuators. Due to the low power requirements of electrostatic actuation, MEMS components are very power efficient, making them well suited for dense integration and mobile operation. MEMS components are conventionally also implemented in silicon, and MEMS sensors such as accelerometers, gyros, and microphones are now standard in every smartphone. By combining these two successful technologies, new active photonic components with extremely low power consumption can be made. We discuss our recent experimental work on tunable filters, tunable fiber-to-chip couplers, and dynamic waveguide dispersion tuning, enabled by the marriage of silicon MEMS and silicon photonics.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 27.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Edinger, Pierre
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik. Grenoble Institute of Technology - INP Phelma.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Dynamic dispersion tuning of silicon photonicwaveguides by microelectromechanical actuation2017Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    Efficient nonlinear silicon photonics rely on phase-matching through finewaveguide dispersion engineering. We experimentally demonstrate dynamic dispersion tuningof 800 ps/nm/km in a silicon waveguide ring resonator, by using microelectromechanicalactuation of an adjacent suspended waveguide rim.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 28.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Photonic ring resonators for biosensing2016Inngår i: Nanodevices for Photonics and Electronics: Advances and Applications, Pan Stanford Publishing, 2016, s. 385-424Kapittel i bok, del av antologi (Fagfellevurdert)
  • 29.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Le Thomas, Nicolas
    Univ Ghent, Photon Res Grp, INTEC Dept, Imec, Technol Pk Zwijnaarde 15, B-9052 Ghent, Belgium.;Univ Ghent, Ctr Nano & Biophoton, Technol Pk Zwijnaarde 15, B-9052 Ghent, Belgium..
    Gylfason, Kristinn
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Mikro- och nanosystemteknik.
    Low-power optical beam steering by microelectromechanical waveguide gratings2019Inngår i: Optics Letters, ISSN 0146-9592, E-ISSN 1539-4794, Vol. 44, nr 4, s. 855-858Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    Optical beam steering is key for optical communications, laser mapping (lidar), and medical imaging. For these applications, integrated photonics is an enabling technology that can provide miniaturized, lighter, lower-cost, and more power-efficient systems. However, common integrated photonic devices are too power demanding. Here, we experimentally demonstrate, for the first time, to the best of our knowledge, beam steering by microelectromechanical (MEMS) actuation of a suspended silicon photonic waveguide grating. Our device shows up to 5.6 degrees beam steering with 20 V actuation and power consumption below the mu W level, i.e., more than five orders of magnitude lower power consumption than previous thermo-optic tuning methods. The novel combination of MEMS with integrated photonics presented in this work lays ground for the next generation of power-efficient optical beam steering systems.

  • 30.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Le Thomas, Nicolas
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Low-power optical beam steering by microelectromechanical waveguide gratingsInngår i: Artikkel i tidsskrift (Annet vitenskapelig)
    Abstract [en]

    Optical beam steering is key for optical communications, laser mapping (LIDAR), and medical imaging. For these applications, integrated photonicsis an enabling technology that can provide miniaturized, lighter, lower cost, and more power efficient systems. However, common integrated photonic devices are too power demanding. Here, we experimentally demonstrate, for the first time, beam steering by microelectromechanical (MEMS)actuation of a suspended silicon photonic waveguide grating. Our device shows up to 5.6° beamsteering with 20 V actuation and a power consumption below the μW level, i.e. more than 5 orders of magnitude lower power consumption than previous thermo-optic tuning methods. The novel combination of MEMS with integrated photonics presented in this work lays ground for the next generation of power-efficient optical beam steering systems.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 31.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    A Low-power MEMS Tunable Photonic Ring Resonator for Reconfigurable Optical Networks2015Inngår i: Proceedings of The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Estoril, Portugal. Jan 2015, IEEE conference proceedings, 2015, s. 53-56Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We experimentally demonstrate a low-power MEMS tunable photonic ring resonator with 10 selectable channels for wavelength selection in reconfigurable optical networks operating in the C band. The tuning is achieved by changing the geometry of the slot of a silicon slot-waveguide ring resonator, by means of vertical electrostatic parallel-plate actuation. Our device provides static power dissipation below 0.1 μW, a wavelength tuning range of 1 nm, and a narrow bandwidth of 0.1 nm, i.e. 10 nW static power dissipation per selectable channel for TE mode tuning.

    Fulltekst (pdf)
    Errando-Herranz15
  • 32.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    A MEMS tunable photonic ring resonator with small footprint and large free spectral range2015Inngår i: Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on, IEEE conference proceedings, 2015, s. 1001-1004Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We demonstrate a MEMS tunable silicon photonic ringresonator with a 20 μm radius and a 5 nm free spectral range (FSR) for wavelength selection in reconfigurable optical networks. The device shows a loaded Q of 12000, and 300 pm tuning at a wavelength of 1544 nm.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 33.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Low-power microelectromechanically tunable silicon photonic ring resonator add-drop filter2015Inngår i: Optics Letters, ISSN 0146-9592, E-ISSN 1539-4794, Vol. 40, nr 15, s. 3556-3559Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We experimentally demonstrate a microelectromechanically (MEMS) tunable photonic ring resonator add-€“drop filter, fabricated in a simple silicon-on-insulator (SOI) based process. The device uses electrostatic parallel plate actuation to perturb the evanescent field of a silicon waveguide, and achieves a 530 pm resonance wavelength tuning, i.e., more than a fourfold improvement compared to previous MEMS tunable ring resonator add-€“drop filters. Moreover, our device has a static power consumption below 100 nW, and a tuning rate of -ˆ’62 €€‰pm/V, i.e., the highest reported rate for electrostatic tuning of ring resonator add-€“drop filters.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 34.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik. UPV Polytechnic University of Valencia, Valencia, Spain.
    Saharil, Farizah
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Mola Romero, Albert
    Sandström, Niklas
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Shafagh, Reza Z.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    van der Wijngaart, Wouter
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Haraldsson, Tommy
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Integration of polymer microfluidics with silicon photonic biosensors by one-step combined photopatterning and molding of OSTE2013Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We demonstrate a method for the fast and simple packaging of silicon sensors into a microfluidic package consisting of the recently introduced {OSTE} polymer. The microfluidic layer is first microstructured and thereafter dry-bonded to a silicon photonic sensor, in a process compatible with wafer-level production, and with the entire packaging process lasting only 10 minutes. The fluidic layer combines molded microchannels and fluidic (Luer) connectors with photopatterned through-holes (vias) for optical fiber probing and fluid connections. All the features are fabricated in a single photocuring step. We report measurements with an integrated silicon photonic {Mach-Zehnder} interferometer refractive index sensor packaged by these means.

  • 35.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Saharil, Farizah
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Mola Romero, Albert
    Sandström, Niklas
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Shafagh, Reza Z.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Wijngaart, Wouter van der
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Haraldsson, Tommy
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Integration Of Polymer Microfluidic Channels, Vias, And Connectors With Silicon Photonic Sensors By One-Step Combined Photopatterning And Molding Of OSTE2013Inngår i: Proceedings of the 2013 17th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (Transducers), IEEE conference proceedings, 2013, s. 1613-1616Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We demonstrate a method for the fast and simple packaging of silicon sensors into a microfluidic package consisting of the recently introduced {OSTE} polymer. The microfluidic layer is first microstructured and thereafter dry-bonded to a silicon photonic sensor, in a process compatible with wafer-level production, and with the entire packaging process lasting only 10 minutes. The fluidic layer combines molded microchannels and fluidic (Luer) connectors with photopatterned through-holes (vias) for optical fiber probing and fluid connections. All the features are fabricated in a single photocuring step. We report measurements with an integrated silicon photonic {Mach-Zehnder} interferometer refractive index sensor packaged by these means.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 36.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Saharil, Farizah
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Romero, Albert Mola
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Sandström, Niklas
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Shafagh, Reza Z.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Wijngaart, Wouter van der
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Haraldsson, Tommy
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Integration of microfluidics with grating coupled silicon photonic sensors by one-step combined photopatterning and molding of OSTE2013Inngår i: Optics Express, ISSN 1094-4087, E-ISSN 1094-4087, Vol. 21, nr 18, s. 21293-21298Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We present a novel integration method for packaging silicon photonic sensors with polymer microfluidics, designed to be suitable for wafer-level production methods. The method addresses the previously unmet manufacturing challenges of matching the microfluidic footprint area to that of the photonics, and of robust bonding of microfluidic layers to biofunctionalized surfaces. We demonstrate the fabrication, in a single step, of a microfluidic layer in the recently introduced OSTE polymer, and the subsequent unassisted dry bonding of the microfluidic layer to a grating coupled silicon photonic ring resonator sensor chip. The microfluidic layer features photopatterned through holes (vias) for optical fiber probing and fluid connections, as well as molded microchannels and tube connectors, and is manufactured and subsequently bonded to a silicon sensor chip in less than 10 minutes. Combining this new microfluidic packaging method with photonic waveguide surface gratings for light coupling allows matching the size scale of microfluidics to that of current silicon photonic biosensors. To demonstrate the new method, we performed successful refractive index measurements of liquid ethanol and methanol samples, using the fabricated device. The minimum required sample volume for refractive index measurement is below one nanoliter.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 37.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
    Takabayashi, A. Y.
    Edinger, Pierre
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
    Sattari, H.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.
    Quack, Niels
    MEMS for Photonic Integrated Circuits2020Inngår i: IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, ISSN 1077-260X, E-ISSN 1558-4542, Vol. 26, nr 2, s. 1-16Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    The field of microelectromechanical systems (MEMS) for photonic integrated circuits (PICs) is reviewed. This field leverages mechanics at the nanometer to micrometer scale to improve existing components and introduce novel functionalities in PICs. This review covers the MEMS actuation principles and the mechanical tuning mechanisms for integrated photonics. The state of the art of MEMS tunable components in PICs is quantitatively reviewed and critically assessed with respect to suitability for large-scale integration in existing PIC technology platforms. MEMS provide a powerful approach to overcome current limitations in PIC technologies and to enable a new design dimension with a wide range of applications.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 38.
    Errando-Herranz, Carlos
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Vastesson, Alexander
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Zelenina, Marina
    KTH, Skolan för teknikvetenskap (SCI), Tillämpad fysik, Cellens fysik.
    Pardon, Gaspard
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Bergström, Gunnar
    Wijngaart, Wouter van der
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Haraldsson, Tommy
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Brismar, Hjalmar
    KTH, Skolan för teknikvetenskap (SCI), Tillämpad fysik, Cellens fysik.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Biocompatibility of OSTE polymers studied by cell growth experiments2013Inngår i: Proceedings of the 17th Int. Conf. on Miniaturized Systems for Chemistry  and Life Sciences (microTAS), Freiburg, Germany, 2013Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    The recently introduced OSTE polymer technology has shown very useful features for microfluidics for lab-on-a-chip applications. However, no data has yet been published on cell viability on OSTE. In this work, we study the biocompatibility of three OSTE formulations by cell growth experiments. Moreover, we investigate the effect of varying thiol excess on cell viability on OSTE surfaces. The results show poor cell viability on one OSTE formulation, and viability comparable with polystyrene on a second formulation with thiol excess below 60%. In the third formulation, we observe cell proliferation. These results are promising for cell-based assays in OSTE microfluidic devices.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 39.
    Fischer, Andreas C.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Belova, Lyubov M.
    KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Materialvetenskap, Teknisk materialfysik.
    Malm, Gunnar B.
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Kolahdouz, Mohammadreza
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Radamson, Henry
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    3D Free-Form Patterning of Silicon by Ion Implantation, Silicon Deposition, and Selective Silicon Etching2012Inngår i: Advanced Functional Materials, ISSN 1616-301X, E-ISSN 1616-3028, Vol. 22, nr 19, s. 4004-4008Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    A method for additive layer-by-layer fabrication of arbitrarily shaped 3D silicon micro- and nanostructures is reported. The fabrication is based on alternating steps of chemical vapor deposition of silicon and local implantation of gallium ions by focused ion beam (FIB) writing. In a final step, the defined 3D structures are formed by etching the silicon in potassium hydroxide (KOH), in which the local ion implantation provides the etching selectivity. The method is demonstrated by fabricating 3D structures made of two and three silicon layers, including suspended beams that are 40 nm thick, 500 nm wide, and 4 μm long, and patterned lines that are 33 nm wide.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 40.
    Fischer, Andreas C.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Belova, Liubov M.
    KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Materialvetenskap, Tillämpad materialfysik.
    Malm, Gunnar B.
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Kolahdouz, Mohammadreza
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Rikers, Yuri G.M.
    FEI Electron Optics.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    3D Patterning of Si Micro and Nano Structures by Focused Ion Beam Implantation, Si Deposition and Selective Si Etching2012Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
  • 41.
    Fischer, Andreas C.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Belova, Lyubov M.
    Malm, Gunnar B.
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Radamson, Henry H.
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Kolahdouz, M.
    KTH, Skolan för informations- och kommunikationsteknik (ICT), Integrerade komponenter och kretsar.
    Rikers, Y. G. M.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Layer-by-layer 3D printing of Si micro- and nanostructures by Si deposition, ion implantation and selective Si etching2012Inngår i: 12th IEEE Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO), 2012, IEEE conference proceedings, 2012, s. 1-4Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    In this paper we report a method for layer-by-layer printing of three-dimensional (3D) silicon (Si) micro- and nanostructures. This fabrication method is based on a sequence of alternating steps of chemical vapor deposition of Si and local implantation of gallium (Ga+) ions by focused ion beam (FIB) writing. The defined 3D structures are formed in a final step by selectively wet etching the non-implanted Si in potassium hydroxide (KOH). We demonstrate the viability of the method by fabricating 2 and 3-layer 3D Si structures, including suspended beams and patterned lines with dimensions on the nm-scale.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 42.
    Fischer, Andreas C.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Niklaus, Frank
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Gylfason, Kristinn Björgvin
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikro- och nanosystemteknik.
    3D printing of silicon micro and nano structures by ion implantation, silicon deposition, and selective silicon etching2013Inngår i: Technical Paper - Society of Manufacturing Engineers, 2013Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    A method for additive layer-by-layer fabrication of arbitrarily shaped 3D silicon micro and nano structures is reported. The fabrication is based on alternating steps of chemical vapor deposition of silicon and local implantation of gallium ions by focused ion beam (FIB) writing. In a final step, the defined 3D structures are formed by etching the silicon in potassium hydroxide (KOH), in which the local ion implantation provides the etching selectivity. The proposed technology could change and greatly simplify the fabrication of many MEMS, NEMS, and silicon photonic devices without requiring a fully equipped semiconductor cleanroom. This layer-by-layer fabrication method is in principle also viable for the implementation of 3D structures in semiconductors other than silicon.

  • 43.
    Gudmundsson, J. T.
    et al.
    KTH, Tidigare Institutioner, Hållfasthetslära.
    Alami, J.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Bohlmark, J.
    Helmersson, U.
    Plasma Dynamics in an Unipolar Pulsed Magnetron Sputtering Discharge2004Konferansepaper (Fagfellevurdert)
  • 44.
    Gylfason, Kristinn B.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Nanophotonic biosensors for point of care diagnostics2011Konferansepaper (Fagfellevurdert)
  • 45.
    Gylfason, Kristinn B.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Agustsson, J. S.
    Olafsson, S.
    Meyvantsson, I.
    Johnsen, K.
    Gudmundsson, J. T.
    Ultra-thin Lattice Matched Cr_xMo_1-x/MgO Multilayers2004Konferansepaper (Fagfellevurdert)
    Abstract
  • 46.
    Gylfason, Kristinn B.
    et al.
    University of Iceland.
    Alami, J.
    Helmersson, U.
    Gudmundsson, J. T.
    Ion-acoustic solitary waves in a high power pulsed magnetron sputtering discharge2005Inngår i: Journal of Physics D: Applied Physics, ISSN 0022-3727, E-ISSN 1361-6463, Vol. 38, nr 18, s. 3417-3421Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert)
    Abstract [en]

    We report on the creation and propagation of ion-acoustic solitary waves in a high power pulsed magnetron sputtering discharge. A dense localized plasma is created by applying high energy pulses (4-12 J) of length; approximate to 70 mu s, at a repetition frequency of 50 pulses per second, to a planar magnetron sputtering source. The temporal behaviour of the electron density, measured by a Langmuir probe, shows solitary waves travelling away from the magnetron target. The velocity of the waves depends on the gas pressure but is roughly independent of the pulse energy.

    Fulltekst (pdf)
    fulltext
  • 47.
    Gylfason, Kristinn B.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Antelius, Mikael
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    An apodized surface grating coupler enabling the fabrication of silicon photonic nanowire sensor circuits in one lithography step2011Inngår i: Proceedings IEEE International Conference on Solid-State Sensors, Actuators,and Microsystems (Transducers), Beijing, China: IEEE , 2011, s. 1539-1541Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
    Abstract [en]

    We present the design, fabrication, and experimental characterization of a silicon surface grating coupler that enables the creation of complete photonic nanowire sensor circuits in a single lithography step on a standard SOI wafer. This advance is achieved without sacrifices in the coupling efficiency through the use of an apodization algorithm that tunes the width of each gap and bar in the grating. This design optimization provides a high light coupling efficiency and a low back reflection with a grating etched fully through the SOI device layer. We experimentally demonstrate a coupling efficiency of 35% on a standard SOI substrate at a wavelength of 1536 nm, and show that with an optimized buried oxide (BOX) thickness, a coupling efficiency of 72% could be achieved.

    Fulltekst (pdf)
    05969732.pdf
  • 48.
    Gylfason, Kristinn B.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Carlborg, Carl Fredrik
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Kazmierczak, Andrzej
    Dortu, Fabian
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Vivien, Laurent
    Barrios, Carlos A.
    Wijngaart, Wouter van der
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik.
    Athermal Optical Slot-Waveguides for Temperature Insensitive Biosensing2010Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
  • 49.
    Gylfason, Kristinn B.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Carlborg, Carl Fredrik
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Kazmierczak, Andrzej
    Dortu, Fabian
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Vivien, Laurent
    Ronan, Gerry
    Barrios, Carlos A.
    Wijngaart, Wouter van der
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    A packaged optical slot-waveguide ring resonator sensor array for multiplex assays in Labs-on-Chip2010Konferansepaper (Fagfellevurdert)
  • 50.
    Gylfason, Kristinn B.
    et al.
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Carlborg, Carl Fredrik
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Kazmierczak, Andrzej
    Dortu, Fabian
    Sohlström, Hans
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Vivien, Laurent
    Ronan, Gerry
    Barrios, Carlos A.
    Wijngaart, Wouter van der
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    Stemme, Göran
    KTH, Skolan för elektro- och systemteknik (EES), Mikrosystemteknik (Bytt namn 20121201).
    A packaged optical slot-waveguide ring resonator sensor array for multiplex assays in Labs-on-Chip2010Inngår i: 8th Micronano System Workshop, 2010Konferansepaper (Annet vitenskapelig)
12 1 - 50 of 99
RefereraExporteraLink til resultatlisten
Permanent link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf