Die atomare Struktur eines geordneten Alumosilicatfilms auf einem Mo(112)-Substrat wurde durch hochauflösende Messungen bestimmt und mithilfe der Dichtefunktionaltheorie berechnet. Bei einem niedrigen Al/Si-Verhältnis wird die Struktur dadurch gebildet, dass Al-Atome (blau) die Si-Atome (orange) im Siliciumoxidfilm ersetzen. Der Alumosilicatfilm besteht aus einer Schicht von eckenverknüpften {SiO4}- und {AlO3}-Einheiten.