kth.sePublikationer KTH
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Continuously Tunable Silicon Photonic Mems 2 X 2 Power Coupler
Ecole Polytech Fed Lausanne EPFL, Lausanne, Switzerland..
Ecole Polytech Fed Lausanne EPFL, Lausanne, Switzerland..
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-7339-6662
Interuniv Microelect Ctr IMEC, Leuven, Belgium..
Visa övriga samt affilieringar
2021 (Engelska)Ingår i: 2021 21St International Conference On Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) , 2021, s. 447-450Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

The integration of MEMS transducers in photonic integrated circuits provides opportunities for high efficiency photonic modulation and dynamic routing on-chip. We here present an electrostatically actuated, silicon photonic MEMS 2 x 2 power coupler, fabricated in IMEC's iSiPP50G platform followed by a dedicated MEMS release sequence. The in-plane, mechanical tuning mechanism provides analog power coupling between waveguides in a small form factor. With our experimental demonstration of broad, > 30 nm optical bandwidth, high extinction ratio of > 27 dB, and a low actuation voltage of only 6 V, the coupler fulfills the requirements for large-scale integration in next generation reconfigurable PICs.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) , 2021. s. 447-450
Serie
International Solid-State Sensors Actuators and Microsystems Conference, ISSN 2167-0013
Nyckelord [en]
Microelectromechanical systems, photonic integrated circuits, silicon photonics, photonics, optical switch
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-304861DOI: 10.1109/TRANSDUCERS50396.2021.9495551ISI: 000707041600121Scopus ID: 2-s2.0-85114962414OAI: oai:DiVA.org:kth-304861DiVA, id: diva2:1611552
Konferens
21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), JUN 20-25, 2021, ELECTR NETWORK
Anmärkning

Part of proceedings: 978-1-6654-1267-4, QC 20230117

Tillgänglig från: 2021-11-15 Skapad: 2021-11-15 Senast uppdaterad: 2023-01-17Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Edinger, PierreGylfason, Kristinn

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Edinger, PierreGylfason, Kristinn
Av organisationen
Mikro- och nanosystemteknik
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 133 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf