kth.sePublikationer KTH
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Inkjet printing, laser-based micromachining, and micro-3D printing technologies for MEMS
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0003-3452-6361
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Intelligenta system, Mikro- och nanosystemteknik.ORCID-id: 0000-0002-0525-8647
2020 (Engelska)Ingår i: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, Elsevier BV , 2020, s. 531-545Kapitel i bok, del av antologi (Övrigt vetenskapligt)
Abstract [en]

A number of unconventional micromachining technologies are emerging that are of potential interest for microelectromechanical systems (MEMS) manufacturing. Such micromachining processes include sequential processes in which devices on a substrate are formed one at a time, which is in contrast to conventional parallel semiconductor manufacturing processes. Nevertheless, many of the serial micromachining processes, including inkjet printing technologies and laser-based processes can be highly efficient and cost competitive, especially for low- and medium-sized manufacturing volumes as well as for prototyping purposes. The technologies presented in this chapter can be categorized as additive micromachining approaches (e.g., inkjet printing) and subtractive micromachining approaches (e.g., laser ablation). This chapter discusses the more mature technologies that are already being developed in a commercial context and a number of new and emerging micromachining approaches that are still in the early research and development stage. 

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier BV , 2020. s. 531-545
Nyckelord [en]
Etching, Focused ion beam milling and e-beam-assisted deposition, Inkjet printing, Laser ablation, Laser writing, Micro-laser sintering, Micromachining, Microstereolithography
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik Den kondenserade materiens fysik Annan teknik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-313887DOI: 10.1016/B978-0-12-817786-0.00021-9Scopus ID: 2-s2.0-85124857797OAI: oai:DiVA.org:kth-313887DiVA, id: diva2:1668467
Anmärkning

Part of proceedings: ISBN 9780128177860, QC 20220613

Tillgänglig från: 2022-06-13 Skapad: 2022-06-13 Senast uppdaterad: 2025-02-18Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Fischer, Andreas C.Niklaus, Frank

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Fischer, Andreas C.Niklaus, Frank
Av organisationen
Mikro- och nanosystemteknik
Annan elektroteknik och elektronikDen kondenserade materiens fysikAnnan teknik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 181 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf