Silicon photonic MEMS phase shifter with mu s time constant built on a foundry platform 2021 (Engelska)Ingår i: 2021 Conference On Lasers And Electro-Optics (CLEO), IEEE , 2021, artikel-id STu2Q.1Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)

Abstract [en]

MEMS enable low power tuners in silicon photonics, but existing phase shifters lack in range, speed, and loss. We implement a 2 pi phase shifter with a 1.54 mu s time constant and 0.5 dB insertion loss in IMEC's iSiPP5OG platform.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor

IEEE , 2021. artikel-id STu2Q.1

Serie

Conference on Lasers and Electro-Optics, ISSN 2160-9020

Nationell ämneskategori

Annan elektroteknik och elektronik Produktionsteknik, arbetsvetenskap och ergonomi Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik

Identifikatorer

URN: urn:nbn:se:kth:diva-318235ISI: 000831479802308OAI: oai:DiVA.org:kth-318235DiVA, id: diva2:1697077

Konferens

Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), MAY 09-14, 2021, ELECTR NETWORK

Anmärkning

Part of proceedings: ISBN 978-1-943580-91-0, QC 20220920

Tillgänglig från: 2022-09-20 Skapad: 2022-09-20 Senast uppdaterad: 2022-09-20Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Person

Edinger, PierreKristinsson, KristóferErrando-Herranz, CarlosGylfason, Kristinn

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören

Edinger, PierreKristinsson, KristóferErrando-Herranz, CarlosGylfason, Kristinn

Av organisationen

Mikro- och nanosystemteknik

I ämnet

Annan elektroteknik och elektronikProduktionsteknik, arbetsvetenskap och ergonomiBearbetnings-, yt- och fogningsteknik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle ScholarTotalt: 165 träffar