kth.sePublikationer KTH
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
On the influence of electrode surfaces on the plasma chemistry of a capacitive chlorine discharge
Science Institute, University of Iceland, Dunhaga 3, IS-107 Reykjavik, Iceland, Dunhaga 3.
KTH, Skolan för elektroteknik och datavetenskap (EECS), Elektroteknik, Rymd- och plasmafysik. Science Institute, University of Iceland, Dunhaga 3, Reykjavik, IS-107, Iceland.ORCID-id: 0000-0002-8153-3209
2024 (Engelska)Ingår i: Plasma sources science & technology, ISSN 0963-0252, E-ISSN 1361-6595, Vol. 33, nr 6, artikel-id 065006Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

One-dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collisional simulations are performed on capacitive chlorine discharges with 2.54 cm gap rf driven by a sinusoidal with voltage amplitude of 222 V at driving frequency of 13.56 MHz. The properties of the discharge, the reaction rates for creation and loss of a few key species, the electron energy probability function, and the primary electron power absorption processes are explored as the gas pressure and the inclusion of secondary electron emission processes in the discharge model is varied. Five cases are investigated, including and neglecting electron, ion, and fast neutrals induced secondary electron emission. The negative ion Cl− is almost entirely created by dissociative attachment and lost through ion-ion recombination, and therefore the capacitive chlorine discharge is recombination dominated.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
IOP Publishing , 2024. Vol. 33, nr 6, artikel-id 065006
Nyckelord [en]
capacitive discharge, chlorine, particle-in-cell Monte Carlo collision
Nationell ämneskategori
Fusion, plasma och rymdfysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-348759DOI: 10.1088/1361-6595/ad51a4ISI: 001250226200001Scopus ID: 2-s2.0-85196019022OAI: oai:DiVA.org:kth-348759DiVA, id: diva2:1878669
Anmärkning

QC 20240702

Tillgänglig från: 2024-06-27 Skapad: 2024-06-27 Senast uppdaterad: 2024-07-02Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Gudmundsson, Jon Tomas

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Gudmundsson, Jon Tomas
Av organisationen
Rymd- och plasmafysik
I samma tidskrift
Plasma sources science & technology
Fusion, plasma och rymdfysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 63 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf